公开(公告)号：KR101442426B1

公开(公告)日：2014-11-03

申请号：KR1020130116442

申请日：2013-09-30

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 민남기 ,  함승우

IPC: G01L1/22 ,  G01B7/16 ,  H01L29/84

Abstract: 스트레인 게이지는 패드 영역 및 적어도 두개의 게이지 영역들로 구획된 기판, 상기 패드 영역에 해당하는 상기 기판 상에 형성되며, 패드 패턴부를 구비하는 패드 구조물, 상기 게이지 영역에 해당하는 상기 기판 상에 배치되며, 상기 패드 구조물과 전기적으로 연결되어 스트레인 값에 따라 저항을 측정하고, 상호 이격되며 전기적으로 연결된 게이지 패턴부들을 구비하는 게이지 구조물 및 상호 인접하는 상기 게이지 패턴부들 사이에 상기 기판을 관통하는 제1 관통홀이 형성되고, 상기 제1 관통홀에는 상기 게이지 패턴부들을 상호 연결하는 제1 브릿지를 구비하는 브릿지 구조물을 포함한다.

Abstract translation: 应变计包括被分隔成垫区域和两个或更多表面区域的基底; 衬垫结构，其形成在与所述焊盘区域相对应的所述衬底上，并且设置有焊盘图案部分; 布置在对应于仪表面积的基板上的量规结构电连接到焊盘结构，根据应变值测量电阻，并且设置有彼此分离并电连接的量具图形部分; 以及桥接结构，其中通过所述基板的第一通孔形成在所述相邻的规格图案部分之间，将所述规格图案部分彼此连接的第一桥梁设置在所述第一通孔中。

公开(公告)号：KR101568101B1

公开(公告)日：2015-11-12

申请号：KR1020150009444

申请日：2015-01-20

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 민남기 ,  함승우 ,  김종현 ,  김진웅

IPC: G01L9/00 ,  G01L7/08

CPC classification number: G01L9/0051 ,  G01L7/08

Abstract: 본발명은스트레인게이지모듈및 그제종방법에관한것이다. 본발명에따른스트레인게이지모듈은일측에압력도입부가형성된다이어프램과, 상기다이어프램의타측에절연성접착제를통해접합되는적어도하나의스트레인게이지칩을포함하며; 상기스트레인게이지칩은제1 웨이퍼층과, 일측이상기절연성접착제를통해상기다이어프램의타측에접합되고, 타측이상기제1 웨이퍼층과접합되며, 상기절연성접착제보다절연파괴전압이높은재질로마련되는제2 웨이퍼층과, 상기제1 웨이퍼층의상기제2 웨이퍼층의반대측표면에형성되는스트레인게이지를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 스트레인게이지의감도저하를최소화하면서도높은절연파괴전압에서도견딜수 있고, 접합후에도스트레스로인한파손을방지하고, 글라스프릿의두께를증가시켜면서발생했던종래기술들의문제점이원천적으로제거될수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种应变计模块及其制造方法。 根据本发明的应变计组件包括：膜片，其一侧形成有压力引入单元; 以及使用绝缘粘合剂结合到隔膜的另一侧的至少一个应变计芯片。 应变片芯片包括：第一晶片层; 第二晶片层，其由具有比所述绝缘粘合剂更高的击穿电压的材料形成，所述绝缘粘合剂的一侧使用所述绝缘粘合剂结合到所述隔膜的另一侧，并且另一侧接合到所述第一晶片层; 以及形成在与第二晶片层相对的第一晶片层的表面上的应变计。 因此，应变仪的灵敏度降低最小化; 可以承受高的击穿电压; 阻止接合后的应力损伤; 并且可以完全消除由增加玻璃料的厚度引起的常规技术的问题。