-
公开(公告)号：WO2015053422A1
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：PCT/KR2013/009089
申请日：2013-10-11
Applicant: 고려오트론 (주)
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0048 , B81B2201/033 , G02B26/105 , G03B21/008 , H02N1/008 , H04N3/08
Abstract: 본 발명은 멤스 스캐너에 관한 것으로, 하부 프레임, 한 쌍의 상부 프레임, 한 쌍의 레버, 한 쌍의 고정 전극부 및 구동 전극부를 포함한다. 하부 프레임은 상부면에 캐버티가 형성되어 있고, 캐버티의 중심에 관통 구멍이 형성되어 있다. 한 쌍의 상부 프레임은 캐버티 주위의 하부 프레임의 상부면에 부착되어 중심 부분에 설치 공간을 형성한다. 한 쌍의 레버는 관통 구멍을 중심으로 양쪽의 캐버티의 바닥면에 부착되고, 한 쌍의 상부 프레임에 각각 연결된다. 한 쌍의 고정 전극부는 일측이 한 쌍의 레버에 각각 연결되고, 타측이 상부 프레임에 연결되어 수평면에 대해서 기울어지게 형성된 복수의 고정 전극을 구비하며, 복수의 고정 전극이 관통 구멍을 향하여 형성된다. 그리고 구동 전극부는 한 쌍의 고정 전극부의 고정 전극들에 교번되게 배치되며 상부 프레임의 상부면에 평행하게 배치되는 복수의 구동 전극이 양쪽에 형성되어 있고, 복수의 구동 전극이 형성된 쪽에 반대되는 양쪽은 각각 회전 스프링을 매개로 하부 프레임의 상부면에 부착된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种MEMS扫描仪，其包括下框架，一对上框架，一对杆，一对固定电极单元和驱动电极单元。 下框架具有形成在其上表面上的空腔，并具有形成在空腔中心的通孔。 一对上框架围绕空腔附接到下框架的上表面，从而在其中心部分上形成安装空间。 一对杠杆分别连接到通孔两侧的空腔的底面，并分别与一对上框架连接。 一对固定电极单元中的每一个固定电极单元的一侧连接到一对杠杆中的每一个，另一侧连接到每个上框架，使得该对固定电极单元具有形成为相对倾斜的多个固定电极 并且多个固定电极朝向通孔形成。 驱动电极单元具有形成在两侧的多个驱动电极，使得驱动电极布置成与该对固定电极单元的固定电极交替并且被布置为与上框架的上表面平行，并且 驱动电极单元的与形成有多个驱动电极的侧面相对的两侧分别通过旋转弹簧附接到下框架的上表面。
-
公开(公告)号：KR101430123B1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：KR1020130120963
申请日：2013-10-11
Applicant: 고려오트론(주)
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0048 , B81B2201/033 , G02B26/105 , G03B21/008 , H02N1/008 , H04N3/08 , B81B7/02 , B81B2201/04 , H04N1/113
Abstract: The present invention relates to a micro electro mechanical systems (MEMS) scanner capable of enabling stable operation while increasing the driving angle between a fixed electrode and a driving electrode through an MEMS process. According to the present invention, the MEMS scanner includes a lower frame, a pair of upper frames, a pair of levers, a pair of fixed electrode units, and a driving electrode unit. The lower frame has a cavity on the top surface, and at the center of the cavity, a through hole is formed. The pair of the upper frames is attached onto the top surface of the lower frame around the cavity and forms an installation space at the center. The pair of the levers is attached onto the bottom surface of the cavity at both ends around the through hole, and each of the levers is connected to each of the pair of the upper frames. The pair of the fixed electrode units has a plurality of fixed electrodes which are formed at an angle to a horizontal plane as one ends are connected to the pair of the levers and the other ends are connected to the upper frames, and the plurality of the fixed electrodes are formed towards the through hole. The driving electrode unit is placed alternately to the fixed electrodes of the pair of the fixed electrode units. A plurality of driving electrodes, arranged in parallel to the upper surface of the upper frame, is formed at both ends. Each of the both ends opposite to the side where the driving electrodes are formed is attached onto the top surface of the lower frame using a rotary spring.
Abstract translation: 本发明涉及能够通过MEMS工艺增加固定电极和驱动电极之间的驱动角度而能够稳定工作的微机电系统（MEMS）扫描仪。 根据本发明，MEMS扫描仪包括下框架，一对上框架，一对杆，一对固定电极单元和驱动电极单元。 下框架在顶表面上具有空腔，并且在空腔的中心形成有通孔。 一对上框架围绕空腔附接到下框架的顶表面上，并在中心处形成安装空间。 一对杠杆在通孔周围的两端附着在空腔的底表面上，并且每个杠杆连接到一对上框架中的每一个。 一对固定电极单元具有多个固定电极，它们形成为与水平面成一定角度，因为一端连接到一对杠杆，另一端连接到上框架，并且多个固定电极单元 固定电极朝向通孔形成。 驱动电极单元交替地配置到一对固定电极单元的固定电极。 在两端形成多个平行于上框架的上表面的驱动电极。 使用旋转弹簧将与形成有驱动电极的一侧相对的两端的每一端安装在下框架的上表面上。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.019 seconds)
