Abstract:
본 발명은 표면 마이크로 머시닝(surface micromaching) 기술에 의해 제작된 써모파일과 세포를 배양액과 혼합하고 다시 분리하기 위한 미세유체 흐름 채널 구조물을 포함하는 세포 발열량 측정 센서를 제공한다. 본 발명에 따른 세포 발열량 측정 센서는 마이크로 믹서을 이용하여 배양액과 세포를 균일하게 혼합하고, 쯔바이파흐-풍 효과(Zweifach-Fung effect)를 이용하여 배양액과 세포를 분리한 후 배양액 미세유체와 세포 미세유체 각각에서 측정된 써모파일의 두 신호을 증폭시키고 그 차이 값을 세포의 발열량 측정에 사용하기 때문에 외부 환경의 변화에 의해 발생하는 노이즈의 영향를 제거하고, 유체의 유동에 의한 대류 열소산 효과, 즉 배양액의 유동에 의한 발열량 감소 효과를 최소화할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 세포 발열량 측정 센서는 미세유체 흐름 채널 내에서 유동하는 세포의 발열량을 정밀하게 측정할 수 있고, 측정된 세포의 발열량과 정상 세포의 표준 발열량 차이를 이용하여 암 등의 질환을 진단하는 데 사용될 수 있다.
Abstract:
본 발명의 적어도 일 실시예에 따른 접촉열전도재 특성 측정장치 및 방법은, 제1 열속 바의 일단에 결합된 방열판과 제2 열속 바의 일단 사이에 마련된 접촉열전도재를 흐르는 열류값을 계산하고, 계산된 열류값을 고려하여 접촉열전도재의 상하면 각각의 온도를 계산하고, 그 계산된 열류값과 그 계산된 온도를 고려하여 접촉열전도재의 열저항을 계산함으로써, 방열판과 접촉하고 있는 접촉열전도재의 열저항을 정확히 측정할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A sensor for measuring heat generation of cells is provided to accurately measure the heat and to diagnose cancer. CONSTITUTION: A sensor for measuring heat generation of cells comprises: a substate(10); a membrane(20) formed on at least one sides of the substrate; an upper thermopile(30) and lower thermopile(40) formed at the membrane; a protection layer for covering the exposed side of the membrane and the upper and lower thermopiles; a cell inlet part which is formed at the protection layer and is connected to the culture medium part; a micromixer which is connected to the cell inlet part; and a flow channel which has cell-culture medium discharge part.
Abstract:
PURPOSE: A resolution measuring system of a heat flux sensor and a method thereof are provided to improve the measuring resolution of a heat flux sensor by reducing low frequency noise. CONSTITUTION: A current supplying unit(120) generates the current for heating a main heater. A frequency generator(150) outputs the reference signal of predetermined frequency. The reference signal is transferred to the heat flux sensor. A noise signal eliminating unit(130) removes the noise from the received signal using the reference signal.
Abstract:
본 발명은 전자기 가진기를 이용한 미세 형상 가공 장치에 관한 것으로, 특히 전자기 가진기의 가진력이 전달되는 베어링과, 베어링에서 전달된 가진력에 의해 일정한 축 방향으로 회전하는 회전축과, 회전축의 어느 한 끝단에 설치되며 다수개의 휠을 갖는 연삭 휠과, 연삭 휠과 접촉되는 일정 거리에 일정 속도로 이송되며 연삭 휠에 따른 미세 형상의 패턴이 가공되는 공작물과, 회전축의 변위 또는 진동을 측정하는 진동 센서와, 진동 센서에서 측정된 신호에 따른 주파수 응답신호를 발생하는 신호 처리부와, 신호 처리부의 신호와 기설정된 신호의 변환량에 따른 전자기 가진기의 구동 신호를 발생하는 분석/보상 제어부를 포함한다. 그러므로 본 발명은 접촉 방식의 전자기 가진기를 이용하여 다수의 날을 갖는 연삭 휠이 설치된 회전축을 가진하고 일정 이송 속도로 공작물을 이송함으로써 다양한 미세 형상의 패턴을 공작물에 신속하게 가공할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 미세한 유동이 존재하는 상태에서 유체가 센싱부에 방출하는 열량을 측정하는 센서와 그 제조 방법에 관한 것이다. 세포의 발열 및 생체 조직의 발열 특성 연구 등의 바이오 장치들의 경우 생화학적 방법에 의한 측정이 아닌 비침습적이고 비접촉, 물질적 변형이 따르지 않는 방법이 필요하다. 따라서, 생체 조직 샘플의 변형과 파괴를 막기 위해 샘플의 대사를 위한 보존액과 같이 샘플의 측정이 요구되고, 샘플을 고정하지 않고 유체 채널 내에서의 유동시의 측정이 필요하다. 본 발명은 이러한 목적을 위한 것으로서, 써모파일로 이루어진 열유속 센서와 샘플의 보존액과 유동을 위한 유체 채널이 결합된 센서이며, 생체 조직의 원래 상태를 유지하면서 고분해능이나 고민감도의 발열 측정이 가능한 특징이 있다. 따라서, 본 발명은 미세 온도나 열류량, 특히 생체 세포의 발열량(heat generation)을 측정하는 데에 이용될 수 있다. 본 발명은 나노 마이크로 센서나 전자제품 스마트 냉각 시스템, 각종 의료 기기 등에 적용될 수 있다. 본 발명은 (a) 웨이퍼의 적어도 일면을 폴리싱하여 실리콘 기판부를 형성하는 단계; (b) 실리콘 기판부의 적어도 일면에 절연층을 증착시키는 단계; (c) 절연층 위에 서로 다른 두 금속층이 번갈아 연결된 열 감지부를 증착시키며, 열 감지부의 일측에 형성된 두 금속층의 접합부 인접 위치에 메인 히터를 형성시키고 열 감지부의 타측에 형성된 접합부에 인접하는 위치에 보조 히터를 더 형성시키는 단계; (d) 절연층, 열 감지부, 메인 히터 및 보조 히터의 노출면을 덮는 보호층을 형성시 키는 단계; 및 (e) 양단면이 상기 보호층에 접착된 고분자 수지층을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 열유속 센서의 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 샘플에 대한 센서 측정값의 정확도를 높일 수 있다. 또한, 생체 조직의 발열 특성을 수월하게 파악할 수 있다. 열유속 센서(heat flux sensor), 보조 히터, 써미스터(thermistor), 써모파일(thermopile), 리프트 오프(lift off), LPCVD, PECVD
Abstract:
본 발명은 전자기 가진기를 이용한 미세 형상 가공 장치에 관한 것으로, 특히 전자기 가진기의 가진력이 전달되는 베어링과, 베어링에서 전달된 가진력에 의해 일정한 축 방향으로 회전하는 회전축과, 회전축의 어느 한 끝단에 설치되며 다수개의 휠을 갖는 연삭 휠과, 연삭 휠과 접촉되는 일정 거리에 일정 속도로 이송되며 연삭 휠에 따른 미세 형상의 패턴이 가공되는 공작물과, 회전축의 변위 또는 진동을 측정하는 진동 센서와, 진동 센서에서 측정된 신호에 따른 주파수 응답신호를 발생하는 신호 처리부와, 신호 처리부의 신호와 기설정된 신호의 변환량에 따른 전자기 가진기의 구동 신호를 발생하는 분석/보상 제어부를 포함한다. 그러므로 본 발명은 접촉 방식의 전자기 가진기를 이용하여 다수의 날을 갖는 연삭 휠이 설치된 회전축을 가진하고 일정 이송 속도로 공작물을 이송함으로써 다양한 미세 형상의 패턴을 공작물에 신속하게 가공할 수 있다. 전자기 가진기, 회전축, 진동 센서, 연삭 휠, 공작물
Abstract:
본 발명은 표면 마이크로 머시닝(surface micromaching) 기술에 의해 제작된 써모파일과 세포를 배양액과 혼합하고 다시 분리하기 위한 미세유체 흐름 채널 구조물을 포함하는 세포 발열량 측정 센서를 제공한다. 본 발명에 따른 세포 발열량 측정 센서는 마이크로 믹서을 이용하여 배양액과 세포를 균일하게 혼합하고, 쯔바이파흐-풍 효과(Zweifach-Fung effect)를 이용하여 배양액과 세포를 분리한 후 배양액 미세유체와 세포 미세유체 각각에서 측정된 써모파일의 두 신호을 증폭시키고 그 차이 값을 세포의 발열량 측정에 사용하기 때문에 외부 환경의 변화에 의해 발생하는 노이즈의 영향를 제거하고, 유체의 유동에 의한 대류 열소산 효과, 즉 배양액의 유동에 의한 발열량 감소 효과를 최소화할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 세포 발열량 측정 센서는 미세유체 흐름 채널 내에서 유동하는 세포의 발열량을 정밀하게 측정할 수 있고, 측정된 세포의 발열량과 정상 세포의 표준 발열량 차이를 이용하여 암 등의 질환을 진단하는 데 사용될 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A device and method for measuring property of contact thermal conductive material are provided to measure the thermal resistance of the contact thermal conductive material in considering of traverse direction heat flow of a cooling fin. CONSTITUTION: A device for measuring property of contact thermal conductive material comprises a heat flux value calculation unit, a temperature calculation unit, and a thermal resistance calculation unit. The heat flux value calculation unit calculates a heat flow value passing through a heat spreader(120) located between a second heat flux bar(112) and a radiator plate(132). The temperature calculation unit calculates each temperature of top and bottom surfaces of a contact thermal conductive material base on the calculated heat flow value. The thermal resistance calculation unit calculates the thermal resistance of the contact thermal conductive material in considering of the calculated heat flow value and temperature.