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公开(公告)号：KR1020100110214A
公开(公告)日：2010-10-12
申请号：KR1020090028679
申请日：2009-04-02
Applicant: 광주과학기술원
CPC classification number: G01P5/12 , G01F1/684 , H01L21/702 , H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A resolution measuring system of a heat flux sensor and a method thereof are provided to improve the measuring resolution of a heat flux sensor by reducing low frequency noise. CONSTITUTION: A current supplying unit(120) generates the current for heating a main heater. A frequency generator(150) outputs the reference signal of predetermined frequency. The reference signal is transferred to the heat flux sensor. A noise signal eliminating unit(130) removes the noise from the received signal using the reference signal.
Abstract translation: 目的：提供一种热通量传感器的分辨率测量系统及其方法，通过降低低频噪声来提高热通量传感器的测量分辨率。 构成：电流供应单元（120）产生用于加热主加热器的电流。 频率发生器（150）输出预定频率的参考信号。 参考信号被传送到热通量传感器。 噪声信号消除单元（130）使用参考信号从接收信号中去除噪声。
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公开(公告)号：KR1020120009951A
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：KR1020100071196
申请日：2010-07-23
Applicant: 광주과학기술원
Abstract: PURPOSE: A measurement method and system of motion error is provided to measure motion errors of a linear stage and to enable a user to easily control installation and manipulation times. CONSTITUTION: A measurement method comprises a light emitting member(10), a diffraction grating(33), an optical path formation member, a first position detection member(41) and a second position detecting element(42). The light emitting member outputs the laser light of the fixed wavelet. The diffraction grating is attached to one side of a linear stage(32). The optical path formation member forms the optical path and is formed in the laser light is the diffraction grating.
Abstract translation: 目的：提供运动误差的测量方法和系统来测量线性平台的运动误差，并使用户能够轻松控制安装和操作时间。 构成：测量方法包括发光部件（10），衍射光栅（33），光路形成部件，第一位置检测部件（41）和第二位置检测元件（42）。 发光部件输出固定小波的激光。 衍射光栅附接到线性平台（32）的一侧。 光路形成部件形成光路，并且在激光中形成衍射光栅。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101174000B1
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：KR1020100071196
申请日：2010-07-23
Applicant: 광주과학기술원
Abstract: 본발명은회절소자와 4분할포토다이오드를이용한 4자유도운동오차측정방법및 장치에관한것이다.본발명은소정파장의레이저광을출력하는발광수단; 리니어스테이지의일측에부착되어상기레이저광이반사및 회절되는회절격자; 상기레이저광이상기회절격자에도달하도록광경로를형성하는광경로형성수단; 상기회절격자에서회절되는 0차광이수광되는제1 위치검출소자; 및상기회절격자에서회절되는 1차광이수광되는제2 위치검출소자;를포함한다.
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公开(公告)号：KR101206061B1
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：KR1020110056473
申请日：2011-06-10
Applicant: 광주과학기술원
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B9/02081 , G01B9/02027 , G01B2290/30 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: PURPOSE: A device and a method for measuring motion errors of a linear stage is provided to measure 6 free motion errors of a linear stage in which a super precise operation is needed with a single equipment configuration and to efficiently inspect motion characteristics. CONSTITUTION: A device for measuring motion errors of a linear stage comprises a light emitting device(10), a first beam splitter(14), a first measuring unit(20), a second measuring unit(30), and a third measuring unit(40). The light emitting unit outputs laser beams. The first beam splitter separates the beams output from the light emitting unit. The first measuring unit receives one among the beams separated by the first beam splitter, thereby measuring one-way straight linear motion errors of a linear stage. The second measuring unit measures angular motion errors and the other one-way straight linear motion errors of the linear stage by using the other beams separated from the first beam splitter and diffracted by a diffraction grid. The third measuring unit measures another one-way straight liner motion errors of the linear stage by circular-polarizing the beams refracted by the diffraction grid.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量线性平台运动误差的装置和方法，用于测量单个设备配置需要超精密操作的线性平台的6次自由运动误差，并有效检测运动特性。 构成：用于测量线性平台的运动误差的装置包括发光装置（10），第一分束器（14），第一测量单元（20），第二测量单元（30）和第三测量单元 （40）。 发光单元输出激光束。 第一分束器分离从发光单元输出的光束。 第一测量单元接收由第一分束器分离的光束中的一个，从而测量线性级的单向直线运动误差。 第二测量单元通过使用从第一分束器分离的其它光束并通过衍射光栅衍射来测量线性平台的角运动误差和另一单向直线运动误差。 第三测量单元通过圆偏振由衍射栅折射的光束来测量线性级的另一单向直线运动误差。
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公开(公告)号：KR101053490B1
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：KR1020090028679
申请日：2009-04-02
Applicant: 광주과학기술원
Abstract: 본 발명은 히터 모듈레이션을 통해 저주파 노이즈를 감소시키는 열유속 센서의 분해능을 측정하는 시스템 및 그 방법을 개시한다. 본 발명은 적어도 하나의 열전대쌍을 구비하는 열 감지부와, 열 감지부의 양측에 메인 히터와 보조 히터를 각각 구비하는 열유속 센서의 분해능 측정 시스템으로서, 메인 히터를 가열하기 위한 전류를 발생시키는 전류 공급부; 미리 정해진 소정 주파수의 기준 신호를 출력하며, 기준 신호를 열유속 센서로 전송시키는 주파수 생성부; 공급되는 전류 및 기준 신호에 따라 열 감지부로로부터 출력되는 제1 신호와 주파수 생성부가 출력시킨 기준 신호를 수신하며, 수신된 제1 신호로부터 수신된 기준 신호를 이용하여 잡음을 제거시키는 잡음신호 제거부; 및 잡음이 제거된 제2 신호로부터 열유속 센서의 분해능 값을 계산하는 분해능 계산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열유속 센서 분해능 측정 시스템을 제공한다. 본 발명에 따르면, 저주파 노이즈 감소를 통해 열유속 센서의 측정 분해능을 비약적으로 향상시킬 수 있으며, 측정 민감도가 높은 선형성을 가질 수 있다.
열유속 센서(heat flux sensor), 히터 모듈레이션(heater modulation), 분해능, lock-in amp, 써모파일(thermopile)Abstract translation: 本发明公开了一种用于测量通过加热器调制降低低频噪声的热通量传感器的分辨率的系统和方法。 电流供给到本发明产生至少一个热电偶和一对包括感测单元，所述热通量传感器的测量系统的分辨率包括主加热器和辅助加热器，每个在任一侧感温部，电流用于加热主加热器列 。 一种频率发生器，用于输出预定频率的预定参考信号并将参考信号发送到热通量传感器; 和接收具有第一信号和来自所述热检测部输出根据所提供的电流和参考信号的频率产生单元输出的基准信号，拒绝通过使用从如权利要求的所接收的第一信号中的噪声信号的基准信号以去除噪声 。 以及分辨率计算器，用于根据去除了噪声的第二信号来计算热通量传感器的分辨率值。 根据本发明，通过降低低频噪声可以显着提高热通量传感器的测量分辨率，并且测量灵敏度可以是高度线性的。
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公开(公告)号：KR1020100031200A
公开(公告)日：2010-03-22
申请号：KR1020080090177
申请日：2008-09-12
Applicant: 광주과학기술원
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for controlling the position of a ball-screw driving stage are provided to perform a stable and a rapid position control of the stage by switching the macro control of a Nominal Characteristic Trajectory Following control method and a micro control of Proportional Integral Derivative control method. CONSTITUTION: A macro control part(14), a micro control oart(16) and a switching part(12) are prepared. The macro control part performs a macro dynamic control to a stage(18). The micro control part performs a micro dynamic control to the stage. The switching part switches the macro control part and the micro control part based on the verification result of the change of driving force which drives the stage.
Abstract translation: 目的：提供一种用于控制滚珠丝杠驱动平台位置的方法和装置，通过切换公称特征轨迹的宏观控制来执行平台的稳定和快速的位置控制。控制方法和微控制 比例积分微分控制方法。 构成：准备宏观控制部分（14），微控制部分（16）和切换部分（12）。 宏控制部分对舞台（18）执行宏动态控制。 微控制部分对舞台进行微动态控制。 切换部分基于驱动台的驱动力变化的验证结果来切换宏控制部和微控制部。
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公开(公告)号：KR100991267B1
公开(公告)日：2010-11-01
申请号：KR1020080090177
申请日：2008-09-12
Applicant: 광주과학기술원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은, NCTF 제어에 따른 매크로 다이내믹 제어와 PID 제어에 따른 마이크로 제어를 효과적으로 스위칭하여 볼 스크류 구동 스테이지의 안정적이고 빠른 위치 제어를 가능하게 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치에 대한 것이다.
본 발명은, 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법에 있어서, (a) 상기 스테이지에 대하여 매크로 다이내믹 제어를 수행하는 단계; (b) 상기 스테이지의 이송 속도의 변화 또는 상기 스테이지의 현재 위치와 목적 위치와의 차이 중 어느 하나, 및 상기 스테이지에 가해지는 구동력의 변화를 기준으로 상기 스테이지의 위치 제어 방식을 마이크로 다이내믹 제어로 스위칭하는 단계; 및 (c) 상기 스테이지에 대하여 마이크로 다이내믹 제어를 수행하여 상기 스테이지를 목적 위치로 제어하는 단계를 포함하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법을 제공한다.
볼 스크류 구동 스테이지, NCTF, PID, 제어, 스위칭
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