公开(公告)号：KR1020100031200A

公开(公告)日：2010-03-22

申请号：KR1020080090177

申请日：2008-09-12

Applicant: 광주과학기술원

Inventor： 이선규 ,  김규하 ,  조상구 ,  김완수

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for controlling the position of a ball-screw driving stage are provided to perform a stable and a rapid position control of the stage by switching the macro control of a Nominal Characteristic Trajectory Following control method and a micro control of Proportional Integral Derivative control method. CONSTITUTION: A macro control part(14), a micro control oart(16) and a switching part(12) are prepared. The macro control part performs a macro dynamic control to a stage(18). The micro control part performs a micro dynamic control to the stage. The switching part switches the macro control part and the micro control part based on the verification result of the change of driving force which drives the stage.

Abstract translation: 目的：提供一种用于控制滚珠丝杠驱动平台位置的方法和装置，通过切换公称特征轨迹的宏观控制来执行平台的稳定和快速的位置控制。控制方法和微控制 比例积分微分控制方法。 构成：准备宏观控制部分（14），微控制部分（16）和切换部分（12）。 宏控制部分对舞台（18）执行宏动态控制。 微控制部分对舞台进行微动态控制。 切换部分基于驱动台的驱动力变化的验证结果来切换宏控制部和微控制部。

公开(公告)号：KR100991267B1

公开(公告)日：2010-11-01

申请号：KR1020080090177

申请日：2008-09-12

Applicant: 광주과학기술원

Inventor： 이선규 ,  김규하 ,  조상구 ,  김완수

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은, NCTF 제어에 따른 매크로 다이내믹 제어와 PID 제어에 따른 마이크로 제어를 효과적으로 스위칭하여 볼 스크류 구동 스테이지의 안정적이고 빠른 위치 제어를 가능하게 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치에 대한 것이다.
본 발명은, 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법에 있어서, (a) 상기 스테이지에 대하여 매크로 다이내믹 제어를 수행하는 단계; (b) 상기 스테이지의 이송 속도의 변화 또는 상기 스테이지의 현재 위치와 목적 위치와의 차이 중 어느 하나, 및 상기 스테이지에 가해지는 구동력의 변화를 기준으로 상기 스테이지의 위치 제어 방식을 마이크로 다이내믹 제어로 스위칭하는 단계; 및 (c) 상기 스테이지에 대하여 마이크로 다이내믹 제어를 수행하여 상기 스테이지를 목적 위치로 제어하는 단계를 포함하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법을 제공한다.
볼 스크류 구동 스테이지, NCTF, PID, 제어, 스위칭