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公开(公告)号：KR101290262B1
公开(公告)日：2013-07-26
申请号：KR1020110029879
申请日：2011-03-31
Applicant: 국민대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 다채널 수정 결정 미소 저울에 관한 것으로서, 수정 결정의 공진 특성을 이용하여 미소 질량을 측정할 수 있는 수정 결정 미소 저울에 있어서, 상기 수정 결정으로 이루어진 수정 기판; 상기 수정 기판의 앞면에 배치된 제1 전극과, 상기 수정 기판의 뒷면에 상기 제1 전극과 대향하도록 배치된 제2 전극이 쌍을 이루는 복수 쌍의 전극;을 구비하며, 상기 수정 기판은, 상기 수정 기판의 표면에 오목하게 형성된 구획홈에 의하여 복수 개의 센싱 영역으로 분리되며, 상기 각 쌍의 전극은, 상기 구획홈에 의하여 분리된 복수 개의 센싱 영역에 각각 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 수정 기판의 표면에 오목하게 형성된 구획홈에 의하여 각 쌍의 전극이 서로 분리된 상태로 배치됨으로써, 각 전극에서 발생하는 진동이 주변의 다른 전극에 미치는 간섭을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020120111424A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：KR1020110029879
申请日：2011-03-31
Applicant: 국민대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A multi-channel quartz crystal micro-balance having a partitioning groove is provided to reduce interferences that vibration generated by each electrode interferes to other adjacent electrodes. CONSTITUTION: A multi-channel quartz crystal micro-balance(100) having a partitioning groove(40) comprises a crystal substrate(10) and a plurality of electrodes. The crystal substrate consists of a quartz crystal. The electrodes consists of a first electrode(20) and a second electrode. The first electrode is arranged in a front surface of the quartz crystal. The second electrode is arranged in a rear surface of the crystal substrate to be faced to the first electrode. The crystal substrate is divided into a plurality of sensing areas by the partitioning groove concavely formed on a surface of the crystal substrate. Each electrode is respectively arranged in the plurality of sensing areas divided by the partitioning groove.
Abstract translation: 目的：提供具有分隔槽的多通道石英晶体微平衡，以减少由每个电极产生的振动干扰其他相邻电极的干扰。 构成：具有分隔槽（40）的多通道石英晶体微平衡（100）包括晶体基板（10）和多个电极。 晶体衬底由石英晶体组成。 电极由第一电极（20）和第二电极构成。 第一电极布置在石英晶体的前表面中。 第二电极布置在晶体衬底的背面以面向第一电极。 晶体基板通过凹形地形成在晶体基板的表面上的分隔槽分成多个感测区域。 每个电极分别布置在由分隔槽分开的多个感测区域中。
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