단일샷에 의한 심도 분해 분광 분석 이미징 장치
    1.
    发明公开
    단일샷에 의한 심도 분해 분광 분석 이미징 장치 审中-实审
    深度分辨光谱分析成像装置单发

    公开(公告)号:KR1020170126748A

    公开(公告)日:2017-11-20

    申请号:KR1020160057202

    申请日:2016-05-10

    CPC classification number: G01J3/4406 G01N21/65 G02B6/29389 G02B19/0076

    Abstract: 분광분석장치를제공한다. 분광분석장치는내부성분을분석하기위한시료를지지하기위한받침대, 시료의표면으로제1 광을조사시키는광원및 제1 광으로인해서시료로부터산란되는제2 광의경로상에배치되어제2 광의스펙트럼을수집하고시료의내부성분을검출하는검출부를포함하되, 시료로조사되는제1 광과시료로부터얻어지는제2 광이서로간섭되지않는다.

    Abstract translation: 提供了一种光谱分析装置。 该分光分析装置包括:基座,用于支撑用于分析内部组件的样品;光源,用于将第一光照射到样品的表面;以及第二光,由于第一光而从样品散射, 以及检测器,用于检测样品的内部成分,其中从样品发射的第一光和从样品获得的第二光不相互干扰。

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