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公开(公告)号：KR1020120120633A
公开(公告)日：2012-11-02
申请号：KR1020110038338
申请日：2011-04-25
Applicant: 국민대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A coating method of a surface of a mold for nanoimprint lithography with an anti-adhesive material is provided to provide high accuracy and contact angle for a mold of high steps or a micro mold with a period of 100 nm or less. CONSTITUTION: A coating method of a surface of a mold for nanoimprint lithography comprises: a step of conducting surface oxidation by reacting with basic oxide etchant; a step of attaching a weld surface of APTES of -OH(hydroxyl) group of a surface of a mold by reacting the mold with 3-aminopropyl triethoxysilane solution; and a step of reacting the mold with monoglycidyl ether terminated polydimethylsiloxane solution, and attaching PDMS material to the APTES as an anti-adhesive material.
Abstract translation: 目的：提供用于具有抗粘附材料的纳米压印光刻的模具表面的涂布方法，以对于高阶模具或微模具具有100nm以下的高精度和接触角。 构成：用于纳米压印光刻的模具表面的涂布方法包括：通过与碱性氧化物蚀刻剂反应进行表面氧化的步骤; 通过使模具与3-氨基丙基三乙氧基硅烷溶液反应来连接模具表面的-OH（羟基）基团的APTES的焊接表面的步骤; 以及使模具与单缩水甘油醚封端的聚二甲基硅氧烷溶液反应并将PDMS材料作为抗粘剂材料附着在APTES上的步骤。
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公开(公告)号：KR1020110129704A
公开(公告)日：2011-12-02
申请号：KR1020100049233
申请日：2010-05-26
Applicant: 국민대학교산학협력단
IPC: H01L51/46
CPC classification number: Y02E10/549 , H01L51/42
Abstract: PURPOSE: An organic photo conductor photoelectric device is provided to improve the properties and efficiency of a device by controlling the molecular orientation of a charge carrier organic thin film layer which is formed on the upper side of a molding material layer. CONSTITUTION: An organic photo conductor photoelectric device comprises a conductive transparent substrate, a molding material layer, and a charge carrier organic thin film layer. The molding material layer is formed on the conductive transparent substrate and is composed of a flat type crystalline matter which includes a benzene ring. The charge carrier organic thin film layer is formed in the molding material layer. Molecular orientation of the molding material layer is same with molecular orientation of the charge carrier organic thin film layer. The charge carrier organic thin film layer is composed of a flat type phthalocyanine compound.
Abstract translation: 目的：提供一种有机光电导体光电装置，通过控制形成在成型材料层上侧的电荷载体有机薄膜层的分子取向来提高器件的性能和效率。 构成：有机光导体光电装置包括导电透明基板，成型材料层和电荷载体有机薄膜层。 成型材料层形成在导电性透明基板上，由包含苯环的扁平型结晶物构成。 电荷载体有机薄膜层形成在成型材料层中。 成型材料层的分子取向与电荷载体有机薄膜层的分子取向相同。 电荷载体有机薄膜层由扁平型酞菁化合物构成。
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公开(公告)号：KR101379321B1
公开(公告)日：2014-03-31
申请号：KR1020110038338
申请日：2011-04-25
Applicant: 국민대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 나노임프린트 리소그라피(nanoimprint lithography)용 주형 표면에 항부착성 물질(anti-adhesive material)을 코팅하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노임프린트 리소그라피용 주형(mold) 표면에 항부착성 물질을 코팅하는 방법에 있어서, ⅰ)주형을 염기성 산화용액과 반응시켜 표면 산화를 진행하는 단계,; ⅱ)상기 표면이 산화된 주형을 3-아미노프로필트리에톡시실란(3-aminopropyl triethoxysilane, APTES) 용액과 반응시켜 주형 표면의 -OH(수산기)와 반응시켜 APTES를 주형 표면에 부착시키는 단계 및; ⅲ)상기 APTES가 부착된 주형을 모노글리시딜 에테르 폴리디메틸실록산(monoglycidyl ether terminated polydimethylsiloxane(PDMS)) 용액과 반응시켜 상기 APTES에 항부착성 물질로서 PDMS를 부착시키는 단계를 포함한 나노 임프린트 리소그라피용 주형 표면에 항부착성 물질을 코팅하는 방법에 관한 것으로, 본 발명은 기존의 광학적 산화방법을 사용하지 않아 주형을 손상시키지 않으면서도 나노임프린트 리소그래피용 주형, 특히 100nm 이하의 주기를 갖는 미세 주형이나 고단차의 주형에도 높은 정확도 및 접촉각을 갖도록 주형 표면에 효과적으로 항부착성 물질을 코팅하는 방법을 제공한다.
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