적층 구조를 갖는 가스 다중 감지 장치
    1.
    发明授权
    적층 구조를 갖는 가스 다중 감지 장치 有权
    具有堆叠结构的多气体检测装置

    公开(公告)号:KR101700758B1

    公开(公告)日:2017-01-31

    申请号:KR1020160030481

    申请日:2016-03-14

    Abstract: 본발명은가스감지장치에관한것으로, 베이스기판; 상기베이스기판상에구비되고가스를감지하는표면탄성파(SAW, surface acoustic wave) 센서를각각구비하고서로적층되는다수의센서층; 상기표면탄성파센서를온/오프(on/off)되도록제어하는스위치; 상기다수의센서층중 적어도하나를관통하여상기베이스기판까지연장형성되어상기표면탄성파센서에전원을공급하는다수의전극; 및상기스위치를제어하는제어부를포함하고, 상기다수의센서층은상기다수의전극에의해서로이격형성되는것을특징으로하는가스감지장치가제공된다.

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