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公开(公告)号：KR101677989B1
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：KR1020150140547
申请日：2015-10-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은, 플랫폼을지지하고, 서로교차하는방식으로적층되는적어도하나이상의변위증폭기구들을포함하며, 상기각 변위증폭기구들은압전소자로형성되고, 전압을공급받아양 단이서로멀어지는방향으로연장되는작동기; 상기작동기의좌우양 단에각각위치되고, 상기작동기의연장방향과교차하는방향으로형성되는돌출부를가지는제1 연결부; 및서로마주보는상기돌출부사이에위치되고, 상기작동기의연장으로상기작동기의연장방향과교차되는방향으로힘을받아서로멀어지면서상기플랫폼을동작시키는복수개의제2 연결부를포함하는것을특징으로하는정밀스테이지에관한것이다.
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