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公开(公告)号：KR101463151B1
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：KR1020130046675
申请日：2013-04-26
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01C19/56 , G01C19/5677
Abstract: 본 발명은 검출대상의 각속도에 대응하여 진동상태가 변화하는 링진동자를 구비한 정전기장 방식의 진동형 자이로스코프에 관한 것으로, 상기 정전기장 방식의 진동형 자이로스코프는 상기 링진동자의 외주변 및 내주변을 따라 각각 배치되는 제1 전극 및 제2 전극을 구비하고, 상기 제1 전극이 상기 링진동자의 구동 및 감지를 위한 구동 및 감지용 전극인 경우 상기 제2 전극은 상기 링진동자의 진동 주파수를 조절하기 위한 주파수 조정용 전극으로 구현되고, 상기 제1 전극이 상기 주파수 조정용 전극인 경우 상기 제2 전극은 상기 구동 및 감지용 전극으로 구현되며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 상기 링진동자와의 각각의 간극이 중앙영역에서 양단영역으로 갈수록 넓어지도록 형성되는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 본 발명은 전극 양단영역과 링진동자와의 간극이 넓어지면서 정전기장의 크기가 매우 작아지기 때문에 인접한 전극과 전극 사이에 중첩되는 영역에서 발생하는 간섭문제를 현저히 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140128040A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：KR1020130046675
申请日：2013-04-26
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01C19/56 , G01C19/5677
CPC classification number: G01C19/5677 , G01C19/24 , G01P9/04 , G01R29/12
Abstract: 본 발명은 검출대상의 각속도에 대응하여 진동상태가 변화하는 링진동자를 구비한 정전기장 방식의 진동형 자이로스코프에 관한 것으로, 상기 정전기장 방식의 진동형 자이로스코프는 상기 링진동자의 외주변 및 내주변을 따라 각각 배치되는 제1 전극 및 제2 전극을 구비하고, 상기 제1 전극이 상기 링진동자의 구동 및 감지를 위한 구동 및 감지용 전극인 경우 상기 제2 전극은 상기 링진동자의 진동 주파수를 조절하기 위한 주파수 조정용 전극으로 구현되고, 상기 제1 전극이 상기 주파수 조정용 전극인 경우 상기 제2 전극은 상기 구동 및 감지용 전극으로 구현되며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 상기 링진동자와의 각각의 간극이 중앙영역에서 양단영역으로 갈수록 넓어지도록 형성되는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 본 발명은 전극 양단영역과 링진동자와의 간극이 넓어지면서 정전기장의 크기가 매우 작아지기 때문에 인접한 전극과 전극 사이에 중첩되는 영역에서 발생하는 간섭문제를 현저히 줄일 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及静电场方法中的振动陀螺仪，其包括环形振动器，其振动状态相应于被检测物体的角速度而变化。 静电场方法中的振动陀螺仪包括分别沿着环形振动器的外圆周和内圆周放置的第一电极和第二电极。 当第一电极是用于操作或感测环形振动器的致动或感测电极时，第二电极被实现为用于调节环形振动器的振动频率的频率调节电极。 另一方面，当第一电极是频率调节电极时，第二电极被实现为操作和感测电极。 第一和第二电极和环形振动器之间的间隙分别从中心区域朝向两个端部区域变宽。 因此，振动陀螺仪可以显着地减少两个相邻电极之间的重叠区域中产生的干扰问题，因为由于电极的两个端部区域和环形振动器之间的间隙变宽，静电场的尺寸变得非常小。
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公开(公告)号：KR101075515B1
公开(公告)日：2011-10-21
申请号：KR1020090021869
申请日：2009-03-13
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은수평방향에서타원형으로진동하는모드를이용하는링 자이로스코프및 그의진동축정렬방법에관한것으로, 본발명과관련된 MEMS 링자이로스코프는, 링과, 링의중심에위치하는앵커및 링을상기앵커에탄성적으로지지하는탄성연결부가일체형으로형성된진동구조체; 진동구조체의주위에형성되는복수의전극; 및진동구조체의최대변위발생위치에형성되는질량결함부를포함한다. 인위적으로고정된값의질량결함부를형성시키는것이므로, 전기적인방법의축정렬에비하여매우단순하며그 축정렬의효과가사용온도와무관하게지속적으로유지되는장점이있다.
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公开(公告)号：KR1020100103306A
公开(公告)日：2010-09-27
申请号：KR1020090021869
申请日：2009-03-13
Applicant: 국방과학연구소
CPC classification number: G01C19/5621 , B81B7/02 , G01C19/5628 , G01C19/5719
Abstract: PURPOSE: An MEMS ring gyroscope and a method for aligning a vibration axis thereof are provided to continuously maintain axis alignment regardless of usage temperature. CONSTITUTION: An MEMS ring gyroscope comprises a vibration structure(110), multiple electrodes(108,109), and a mass defective part(120). The vibration structure has a ring(111), an anchor(112), and an elastic connector(113). The anchor is located at the center of the ring. The electrodes are formed around the vibration structure. The mass defective part is formed at a maximum displacement point of the vibration structure.
Abstract translation: 目的：提供一种用于对准其振动轴的MEMS环形陀螺仪和方法，以连续地维持轴对准而不管使用温度如何。 构成：MEMS环形陀螺仪包括振动结构（110），多个电极（108,109）和质量缺陷部分（120）。 振动结构具有环（111），锚（112）和弹性连接器（113）。 锚定位于环的中心。 电极围绕振动结构形成。 质量缺陷部分形成在振动结构的最大位移点处。
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