公开(公告)号：KR101703516B1

公开(公告)日：2017-02-07

申请号：KR1020150188941

申请日：2015-12-29

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 이정민 ,  안준모 ,  김천곤 ,  박미영

IPC: H01M4/04 ,  H01M4/587 ,  H01M4/133 ,  H01G11/22

Abstract: 본원발명에의하면, 전극의제조방법에있어서, 전자빔증발기(E-beam Evaporator)에서이산화규소(SiO) 희생층(Sacrificial Layer) 위에금속촉매(Metallic Catalyst)를증착한후 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비에서상기금속촉매위에탄소나노튜브(CNT: Carbon Nanotube)를성장시키는성장과정; 수조내의증류수(Di-Water) 상에서불화수소(HF)를이용하여상기이산화규소(SiO) 희생층을제거하는제거과정; 상기수조내의상기증류수의표면상에상기탄소나노튜브(CNT)가분자간의거리를유지하면서뜬 상태에서, 상기증류수의표면아래로탄소섬유직물(Carbon Fiber Woven Fabric)이얹혀진이산화규소(SiO) 임시층(Temporary Layer)을담금하는담금과정; 상기수조내의상기증류수상에서상기탄소섬유직물위에상기탄소나노튜브(CNT)를적층(Laminating)한후 상기이산화규소(SiO) 임시층을상기증류수밖으로꺼내는전사(Transfer) 과정; 및상기탄소섬유직물을진공오븐(Vacuum Furnace)에서기 설정된온도및 시간만큼건조시킨후 진공열처리(Vacuum Annealing)하여상기탄소섬유직물과상기탄소나노튜브(CNT)가구조를유지하도록하는접합상태로만드는접합과정을포함하는것을특징으로하는탄소섬유직물/탄소나노튜브전극의제조방법을제공할수 있다.