公开(公告)号：KR1020110040391A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：KR1020090097631

申请日：2009-10-14

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 박재영 ,  이덕현 ,  조민식

IPC: G02B5/122

Abstract: PURPOSE: A corner-tube-type retro-reflector and a manufacturing method thereof are provided to enhance flatness. CONSTITUTION: A rectangular cavity area is formed on the central area of a substrate(210). Four rectangular movable reflecting mirrors(220) are located on the cavity area in a state of being separated by a cross shape member. One movable piezoelectric cantilever(230) connects the corner of the cavity area to a first corner of the movable reflecting mirror adjacent to the cavity corner. Other fixed piezoelectric cantilever(240) connects second and third corners of the movable reflecting mirror to the adjacent part of the substrate. A fixed reflecting mirror(250) is formed on a cross shape member perpendicularly to one surface of the substrate.

Abstract translation: 目的：提供角管式后向反射器及其制造方法，以提高平坦度。 构成：在基板（210）的中心区域上形成矩形空腔区域。 四个矩形可移动反射镜（220）在由十字形构件分开的状态下位于空腔区域上。 一个可移动压电悬臂（230）将空腔区域的角部连接到与腔角相邻的可移动反射镜的第一角。 其他固定压电悬臂（240）将可移动反射镜的第二和第三角连接到基板的相邻部分。 在垂直于基板的一个表面的十字形构件上形成固定反射镜（250）。

公开(公告)号：KR1020090079543A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：KR1020080005605

申请日：2008-01-18

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 박재영 ,  이승재 ,  송기원

IPC: H01L29/00

Abstract: A manufacturing method of a micro silicon reflector having a plurality of orthogonal reflecting surfaces is provided to obtain a high reflectance by depositing a metallic thin film for improving the reflectance on the orthogonal reflecting surfaces. Layers for forming masks are formed on upper and lower surfaces of a silicon wafer substrate. Mask patterns are formed on the layers. The silicon wafer substrate having the mask patterns is etched in a wet-etch manner. A vertical protrusion having mirror surfaces is formed vertically along a crystalline surface of the silicon wafer substrate. A metallic thin film is deposited on each of the mirror surfaces in order to improve a reflectance of the mirror surface of the vertical protrusion. The silicon wafer having the vertical protrusion is cut in a predetermined width with respect to the longitudinal direction of the protrusion. A cutting process is performed to cut both ends of a plurality of cross orthogonal structures. A cross-orthogonal type vertical reflector is obtained.

Abstract translation: 提供具有多个正交反射面的微硅反射体的制造方法，通过沉积用于提高正交反射面的反射率的金属薄膜来获得高反射率。 用于形成掩模的层形成在硅晶片衬底的上表面和下表面上。 在层上形成掩模图案。 具有掩模图案的硅晶片衬底以湿蚀刻方式被蚀刻。 具有镜面的垂直突起沿着硅晶片衬底的晶体表面垂直地形成。 为了提高垂直突起的镜面的反射率，在每个镜面上沉积金属薄膜。 具有垂直突起的硅晶片相对于突起的纵向被切割成预定的宽度。 执行切割处理以切割多个交叉正交结构的两端。 得到交叉正交型垂直反射器。

公开(公告)号：KR100345442B1

公开(公告)日：2002-07-26

申请号：KR1020000075961

申请日：2000-12-13

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 최성린 ,  박재영 ,  정회인

IPC: H01Q1/18

Abstract: 본 발명은 안테나 고정장치에 관한 것으로서, 봉재의 둘레면에 접촉될 수 있도록 고정접촉부가 형성되어 있는 고정바디와; 일측 단부가 상기 고정접촉부에 대해 접근 및 이반가능하게 상기 고정바디에 나사결합되어 상기 고정접촉부에 접촉된 상기 봉재를 대향측에서 가압하여 상기 고정바디가 상기 봉재의 둘레면에 분리가능하게 고정결합되도록 하는 클램핑스크류와; 상기 고정바디의 일측에 상기 클램핑스크류의 축선에 가로로 배치된 회동축선을 중심으로 회동가능하게 결합되는 가동바디와; 상기 가동바디의 일측에 결합되고 봉형상을 가지는 안테나의 일측 단부를 수용하여 상기 안테나의 길이방향에 가로로 유동하여 상기 안테나를 상기 가동바디에 일체로 고정되도록 하는 안테나지지수단과; 상기 고정바디와 상기 가동바디의 상호 접촉영역에 개재되어 상기 봉재에 대해 상기 안테나가 나란하게 배치되는 평행위치 및 상기 봉재에 대해 상기 안테나가 수직하게 배치되는 수직위치중 어느 하나에 위치될 수 있도록 상기 가동바디를 상기 고정바디에 대해 고정유지시키는 고정유지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 설치될 구조물에 대해 안테나의 방향의 조절이 가능하여 설치시 위치선정에 따른 제약을 줄일 수 있으며 크기가 다른 직경의 안테나를 선택적으로 고정할 수 있는 안테나 고정장치가 제공된다.

公开(公告)号：KR100947823B1

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：KR1020080005605

申请日：2008-01-18

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 박재영 ,  이승재 ,  송기원

IPC: H01L29/00

Abstract: 본 발명은 복수의 직교 반사면을 갖는 초소형 실리콘 반사경의 제조방법에 관한 것으로서, 공정을 단순화하고 제조 비용을 절감하며, 우수한 반사율을 갖는 복수의 직교 반사면을 갖는 초소형 실리콘 반사경의 제조방법을 제공하고자 한다.
이를 위한 본 발명의 복수의 직교 반사면을 갖는 초소형 실리콘 반사경의 제조방법은, 실리콘 웨이퍼 기판의 상,하면에 식각용 마스크의 형성을 위한 막을 각각 형성하는 단계; 형성된 막에 식각용 마스크 패턴을 각각 형성하는 단계; 상기 식각용 마스크 패턴이 형성된 실리콘 웨이퍼 기판을 습식 식각하여 상기 실리콘 웨이퍼 기판의 결정면을 따라 상,하부로 각각 수직하게 형성된 거울면을 가지는 수직 돌출부를 형성하는 단계; 상기 거울면의 반사율을 향상시키기 위하여 상기 거울면에 금속 박막을 증착하는 단계; 상기 수직 돌출부가 형성된 실리콘 웨이퍼 기판을 돌출부의 길이방향에 대하여 직각방향으로 소정의 폭으로 절단하는 단계; 상기 절단된 단위 구조물에서 서로 연결되어 일체를 이루는 다수의 십자직교형 구조체의 양단을 각각 절단하여 십자직교형 수직 반사경을 얻는 단계를 포함한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 공정을 단순화하고 제조 비용을 절감할 수 있으며, 우수한 반사율을 갖는 복수의 직교 반사면을 갖는 초소형 실리콘 반사경의 제조가 가능하다.

公开(公告)号：KR101041886B1

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：KR1020090097631

申请日：2009-10-14

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 박재영 ,  이덕현 ,  조민식

IPC: G02B5/122

Abstract: 코너 큐브형 역반사기 및 그 제조 방법이 개시된다. 중심 영역에 사각 형상의 캐비티 영역이 형성된 기판과, 상기 캐비티 영역에 십(十)자 형상의 소정 간격을 두고 위치하는 4개의 사각 형상의 구동 반사경과, 상기 캐비티 영역의 각 모서리와 상기 각 모서리에 인접한 각 구동 반사경의 제1모서리를 연결하기 위한 구동 압전 캔틸레버과, 상기 구동 반사경의 서로 대향하는 제2모서리 및 제3모서리와 상기 기판의 인접 부위를 각각 연결하기 위한 고정 압전 캔틸레버과, 상기 십자 형상의 소정 간격 상에 상기 기판의 일면에 수직한 방향으로 형성되며 소정의 돌출부를 구비하는 고정 반사경과, 상기 돌출부와 결합하여 상기 고정 반사경을 상기 기판에 고정시키도록 상기 기판 상에 형성되는 홀더를 포함하는 코너 큐브형 역반사기를 구성한다. 상기와 같은 코너 큐브형 역반사기에 따르면, 구동 압전 캔틸레버 외에 별도로 구비된 2 개의 고정 압전 캔틸레버가 구동 반사경의 회전축 역할을 하도록 함으로써, 구동 반사경의 초기 편향을 최소화하고 평탄도를 향상시키는 효과가 있다.
코너 큐브, 반사경, 압전, 캔틸레버, 역반사기, 캐비티

公开(公告)号：KR1020020047502A

公开(公告)日：2002-06-22

申请号：KR1020000075961

申请日：2000-12-13

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 최성린 ,  박재영 ,  정회인

IPC: H01Q1/18

Abstract: PURPOSE: An apparatus for fixing an antenna is provided to reduce the constraint for an antenna position selection by coupling a fixing body to a structure installed in horizontal or vertical direction. CONSTITUTION: A fixing body(10) is provided with a fixed contacting unit for contacting to the circumference of a rod. A clamping screw(20) connected to the fixing body(10) through a screw presses the rod contacted to the fixed contacting unit. A moving body(30) is coupled to the fixed body(10) centering around a rotating axis line arranged in a horizontal direction to an axis line of the clamping screw(20). An antenna supporting unit is coupled to one end of the moving body(30) and holds one end of an antenna having a rod shape to fix it on the moving body(30). A fixing maintenance unit is provided on a region where the fixing body(10) and the moving body(30) contact to each other.

Abstract translation: 目的：提供一种用于固定天线的装置，通过将固定体连接到安装在水平或垂直方向上的结构来减少天线位置选择的约束。 构成：固定体（10）设置有用于接触杆的圆周的固定接触单元。 通过螺钉连接到固定体（10）的夹紧螺钉（20）按压与固定接触单元接触的杆。 移动体（30）以围绕夹紧螺钉（20）的轴线的水平方向布置的旋转轴线为中心联接到固定体（10）。 天线支撑单元耦合到移动体（30）的一端并保持具有杆状的天线的一端以将其固定在移动体（30）上。 固定维护单元设置在固定体（10）和移动体（30）彼此接触的区域上。