Abstract:
본 발명은 ITO코팅된 적외선 반사경의 제조방법과 그 반사경을 사용한 적외선 검지장치에 관한 것으로, 종래의 적외선 검지장치가 게르마늄등의 재질을 사용한 렌즈를 사용함으로 인해 설계가 용이하지 않고 제조윈가가 고가인 문제점이 있어 이를 해결하기 위한 것이다. 이와 같은 본 발명에 의한 반사경의 제조방법은 슬라이드글래스(13)의 표면을 세정하는 단계와,10 -5 어orr인 진공쳄버(11)내에 산소를 주입하여 10 -4 Torr로 만들어주는 단계와, 진공쳄버(11)내에서 챔버(11)와 절연되게 설치된 슬라이드글래스(13)를 복사열히터(12)를 사용하여 400℃도 까지 가열하면서 ITO박막을 증착시켜주는 단계로 구성되며, 이와 같이 제조된 반사경을 사용하여 제조된 적외선 검지장치는 전면에 광투과부재(22)를 구비한 하우징(21)과, 하우징(21)의 내부 일측에 구비되어 상기 광투과부재(22)를 통해 들어오는 적외선을 반사하는 ITO코팅된 적외선 반사경(23)과, 적외선 반사경(23)에서 반사되어 집광된 적외선들 검지하도록 적외선반사경(23)의 촛점거리에 설치된 적외선검지소자(24)로 구성된다. 이와 같은 본발명은 종래에 비해 적외선 집광능력이 우수하고, 적외선 검지장치의 설계가 용이하여지므로 저가, 대량생산할 수 있게 되는 이점이 었다.
Abstract:
본 발명은 ITO코팅된 적외선 반사경의 제조방법과 그 반사경을 사용한 적외선 검지장치에 관한 것으로, 종래의 적외선 검지장치가 게르마늄등의 재질을 사용한 렌즈를 사용함으로 인해 설계가 용이하지 않고 제조원가가 고가인 문제점이 있어 이를 해결하기 위한 것이다. 이와 같은 본 발명에 의한 반사경의 제조방법은 슬라이드 글래스(13)의 표면을 세정하는 단계와, 10 -5 Torr 인 진공쳄버(11)내에 산소를 주입하여 10 -4 Torr로 만들어주는 단계와, 진공쳄버(11)내에서 쳄버(11)와 절연되게 설치된 슬라이드글래스(13)를 복사열히터(12)를 사용하여 400℃정도 까지 가열하면서 ITO박막을 증착시켜 주는 단계로 구성되며, 이와 같이 제조된 반사경을 사용하여 제조된 적외선 검지장치는 전면에 광투과부재(22)를 구비한 하우징(21)과, 하우징(21)의 내부 일측에 구비되어 상기 광투과부재(22)를 통해 들어오는 적외선을 반사하는 ITO코팅된 적외선 반사경(23)과, 적외선 반사경(23)에서 반사되어 집광된 적외선을 검지하도록 적외선반사경(23)의 촛점거리에 설치된 적외선검지소자(24)로 구성된다. 이와 같은 본 발명은 종래에 비해 적외선 집광능력이 우수하고, 적외선 검지장치의 설계가 용이하여지므로 저가, 대량생산할 수 있게 되는 이점이 있다.