롤투롤 공정 시스템
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102206644B1

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:KR1020190115483

    申请日:2019-09-19

    Abstract: 일실시예에따른롤투롤공정시스템은, 롤투롤공정시스템의적어도일부에서진공을유지하는진공챔버, 재료를언와인딩(unwinding)하여이송시키는언와인더및 재료를와인딩(winding)하여회수하는와인더를포함하는공급모듈, 재료의표면에음각또는양각의나노패턴을형성하는하향식모듈및 재료의표면을기상또는액상의물질로증착하는상향식모듈을포함하고, 재료는롤투롤공정에의해하향식모듈및 상향식모듈을통과하여옴니포빅(omniphobic)한표면을형성할수 있다.

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