롤투롤 공정 시스템
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102206644B1

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:KR1020190115483

    申请日:2019-09-19

    Abstract: 일실시예에따른롤투롤공정시스템은, 롤투롤공정시스템의적어도일부에서진공을유지하는진공챔버, 재료를언와인딩(unwinding)하여이송시키는언와인더및 재료를와인딩(winding)하여회수하는와인더를포함하는공급모듈, 재료의표면에음각또는양각의나노패턴을형성하는하향식모듈및 재료의표면을기상또는액상의물질로증착하는상향식모듈을포함하고, 재료는롤투롤공정에의해하향식모듈및 상향식모듈을통과하여옴니포빅(omniphobic)한표면을형성할수 있다.

    마이켈슨 간섭계의 하우징 시스템

    公开(公告)号:KR101860347B1

    公开(公告)日:2018-05-23

    申请号:KR1020160160626

    申请日:2016-11-29

    Abstract: 본발명은마이켈슨간섭계에 2분할구조의하우징을적용함으로써복수의광학부품들에대한광학정렬이용이하게이루어질수 있는마이켈슨간섭계의하우징에관한것으로서, 고정반사경이장착되는제1 면, 상기제1 면과직각을이루도록형성된제2 면및 상기제2 면과 45도각도를이루며, 외부로부터빛이입사되는광선분할조립체가장착되는제1 대각면을포함하는제1 하우징및 이동반사경이장착되는제 3면, 상기제 3면과직각을이루도록형성된제4 면및 상기제1 대각면에대응되는제2 대각면을포함하는제2 하우징을포함하고, 상기제1 및제2 하우징은, 상기외부로부터들어오는빛이상기광선분할조립체를통하여상기고정반사경및 상기이동반사경에각각분할되어입사되도록, 상기제1 및제2 대각면이서로마주보게결합되는것을특징으로하는마이켈슨간섭계하우징시스템을제공할수 있다.

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