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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101091466B1
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：KR1020110018354
申请日：2011-03-02
Applicant: 군산대학교산학협력단
CPC classification number: H01J37/32798 , G02B5/204 , G03B17/56 , H01J37/32458 , H01J37/32825 , H04N5/2254 , H04N5/2257 , H04N5/23203 , H04N5/23296 , H04N13/243 , H05H1/24
Abstract: PURPOSE: A system for photographing plasma by a camera in a vacuum chamber is provided to perform high resolution photography about a specific ion which generates plasma discharge by adding a filter which transmits only the specific wave. CONSTITUTION: A camera(100) includes a lens(110) which is formed in the center. The camera includes a channel switch(140), a bracket fixing hole(130), a mains connection part(150). The camera includes an antenna(120) for remote radio control. The camera is able to use the CCD camera module of 41 million pixels. The camera selectively is able to use a CMOS(Complementary Metal Oxide Silicon) image sensor with a high resolution. The camera is able to omit the channel switch and the antenna etc.
Abstract translation: 目的：提供一种用于在真空室中通过相机拍摄等离子体的系统，以通过添加仅透射特定波的滤光器来产生关于产生等离子体放电的特定离子的高分辨率摄影。 构成：照相机（100）包括形成在中心的透镜（110）。 相机包括通道开关（140），支架固定孔（130），电源连接部分（150）。 相机包括用于远程无线电控制的天线（120）。 相机能够使用4100万像素的CCD相机模块。 相机选择性地能够使用具有高分辨率的CMOS（互补金属氧化物硅）图像传感器。 摄像机能省略通道开关和天线等
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公开(公告)号：KR1020120100690A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：KR1020110104417
申请日：2011-10-13
Applicant: 군산대학교산학협력단
CPC classification number: H01J37/32798 , G02B5/04 , H01J37/32522 , H01J37/32825 , H04N5/2254 , H04N5/2257 , H04N5/23203
Abstract: PURPOSE: A plasma photographing system by a camera in a vacuum state is provided to perform high resolution photography of a specific ion which causes plasma discharge by adding a filter which can transmit only specific waves. CONSTITUTION: A camera(100) includes a lens located on the center The camera includes a channel switch located at a back side, a bracket locking hole, and a power connection part The camera includes an antenna for remote radio control. The camera can be composed of a CCD(Charge-Coupled Device) camera module having high definition. The camera module that can be remotely controlled is installed to a carrier of a deposition substrate. The camera module that can be remotely controlled photographs a plasma discharge shape distributed around a linear target as the substrate is scanned with respect to the linear target.
Abstract translation: 目的：提供一种采用真空状态的照相机的等离子体拍摄系统，通过增加只能传送特定波的滤光片，进行特定离子的高分辨率摄影，从而产生等离子体放电。 构成：相机（100）包括位于中心的透镜。相机包括位于后侧的通道开关，支架锁定孔和电源连接部。相机包括用于远程无线电控制的天线。 相机可以由具有高清晰度的CCD（电荷耦合器件）相机模块组成。 可以远程控制的相机模块安装到沉积基板的载体上。 可以远程控制的相机模块拍摄基于相对于线性目标物进行扫描的线性目标周围分布的等离子体放电形状。
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公开(公告)号：KR100968021B1
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020080053645
申请日：2008-06-09
Applicant: 군산대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 오일로터리펌프용 오일역류방지판에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 오일로터리펌프와 진공장비 사이에 연결된 진공라인의 내부에 위치고정되고, 하부에 형성된 돌출부 내측에 위치하도록 표면에 제 1관통구가 등간격으로 형성되는 상판과; 상기 상판의 돌출부 내측에 상하이동가능하게 수용되어 상기 진공라인을 통해 상기 오일로터리펌프에서 상기 진공장비 방향으로 역류하는 오일을 차단하고, 역류하는 오일에 의해 상승하여 상기 상판의 하부면에 밀착되며 표면에 상기 상판의 제 1관통구와 일직선을 이루지 않는 제 2관통구가 등간격으로 형성되는 하판과; 상기 상판의 돌출부 내측에 수직으로 등간격으로 형성되는 가이드축과, 상기 하판의 테두리에 등간격으로 형성되고 상기 가이드축이 내측에 수용될 수 있도록 일측이 개방되는 가이드홈으로 이루어져 상기 하판의 상하이동을 안내하는 가이드부재;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오일로터리펌프용 오일역류방지판에 관한 것이다.
이와 같이 구성된 본 발명은 상기 하판이 오일로터리펌프에서 진공장비방향으로 역류하는 오일에 의해 상승하여 상기 상판의 하부면에 밀착될 경우 상기 하판의 제 2관통구가 폐쇄되기 때문에 역류하는 오일이 상기 하판의 제 2관통구 및 상기 상판의 제 1관통구를 지나 상기 진공장비로 이동될 우려가 없어지게 되고, 이로 인해 상기 진공장비가 역류하는 오일로 인해 고장날 우려가 없어지게 되는 효과가 있다.
상판, 하판, 가이드부재-
公开(公告)号：KR101197391B1
公开(公告)日：2012-11-05
申请号：KR1020110104417
申请日：2011-10-13
Applicant: 군산대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은, 진공 챔버와 같은 챔버 내에서 플라즈마를 이용하는 경우 챔버 내부를 촬영하여 플라즈마 방전 상태를 용이하게 관찰할 수 있게 하는 플라즈마 촬영장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 진공 챔버 안에 카메라를 설치하여 플라즈마 방전 형상을 촬영하므로 플라즈마 방전 형상을 실시간으로 용이하게 관찰할 수 있고, 특히, 고 진공 영역에서 카메라에 의한 촬영 사진의 해상도가 떨어지는 문제의 원인을 규명하고 이를 해결한바, 고 진공에서도 고해상도의 플라즈마 방전을 촬영할 수 있는 플라즈마 촬영시스템을 제공할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020090127591A
公开(公告)日：2009-12-14
申请号：KR1020080053645
申请日：2008-06-09
Applicant: 군산대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An oil counterflow prevention plate of an oil rotary pump is provided to prevent the malfunction of vacuum equipment and to reduce manufacturing cost. CONSTITUTION: An oil counterflow prevention plate of an oil rotary pump comprises an upper plate(10), a lower plate(30) and a guide member(50). The upper plate is fixed inside a vacuum line connected between the oil rotary pump and vacuum equipment. A first through hole is formed on the surface of the upper plate in a regular interval. The lower plate is located inside a protrusion(11) of the upper plate. The lower plate prevents the counterflow of the oil in the oil rotary pump. A second through hole is formed on the surface of the lower plate. The guide member comprises a guide axis and a guide groove. The guide axis is formed in the protrusion. One side of the guide groove is opened and the guide axis can be accepted to the inside thereof. The guide member guides so that the lower plate move to the top and bottom.
Abstract translation: 目的：提供油旋转泵的防油逆流板，以防止真空设备的故障，降低制造成本。 构成：油旋转泵的防油逆流板包括上板（10），下板（30）和引导构件（50）。 上板固定在连接在油旋转泵和真空设备之间的真空管线内。 第一通孔以规则的间隔形成在上板的表面上。 下板位于上板的突起（11）的内部。 下板防止油旋转泵中的油逆流。 第二通孔形成在下板的表面上。 引导构件包括引导轴和引导槽。 引导轴形成在突起中。 引导槽的一侧打开，导向轴可以被接纳到其内部。 引导构件引导使得下板移动到顶部和底部。
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