公开(公告)号：KR1020100084527A

公开(公告)日：2010-07-26

申请号：KR1020107009432

申请日：2008-11-12

Applicant: 니바록스-파 에스.에이.

Inventor： 피아카브리노,진-찰스 ,  베랄도,마르코 ,  코누스,씨에리 ,  씨에바우드,진-필리페 ,  피터스,진-베르날드

IPC: B81C99/00 ,  C25D1/00 ,  G04B13/00

CPC classification number: F16H55/06 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/0197 ,  C25D1/08 ,  C25D5/02 ,  C25D5/10 ,  G04B13/02 ,  G04B13/022 ,  G04B19/042 ,  Y10T74/1987

Abstract: The invention relates to a method for producing a silicon-metal composite micromechanical part, combining DRIE-type and LIGA-type processes. The invention also relates to a micromechanical part comprising a layer containing a silicon part (53) and a metal part in such a way as to form a composite-type micromechanical part. The invention can be used in the field of timekeeping movements.

Abstract translation: 本发明涉及一种组合DRIE型和LIGA型工艺的硅 - 金属复合微机械部件的制造方法。 本发明还涉及一种微机械部件，其包括含有硅部分（53）和金属部分的层，以形成复合型微机械部件。 本发明可用于计时运动领域。