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公开(公告)号：KR101916827B1
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：KR1020160161500
申请日：2016-11-30
Applicant: 단국대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은 3차원마이크로/나노구조를갖는샘플에패턴이다른광을조사하고, 샘플에서방출되는반사광을조합하여 3차원영상을획득하는고해상도를갖는 3차원영상획득장치에관한것으로서, 광원과, 패턴형성부와, 광학계와, 필터부와, 검출부와, 영상생성부를포함한다. 광원은복수의파장광을출력한다. 패턴형성부는복수의파장광중 제1파장광은제1패턴을갖도록하고제2파장광은제1패턴과다른제2패턴을갖도록한다. 광학계는복수의파장광을집광하여 3차원마이크로/나노구조를갖는샘플에동시에조사하는대물렌즈를구비한다. 필터부는샘플로부터방출되는복수의반사광중 상기제1파장광과대응되는제1파장반사광은제1경로로분리시키고, 제2파장광과대응되는제2파장반사광은제1경로와다른제2경로로분리시킨다. 검출부는제1경로상에배치되어제1파장반사광을검출하여제1파장신호를발생시키는제1영상센서와, 제2경로상에배치되어제2파장반사광을검출하여제2파장신호를발생시키는제2영상센서를구비한다. 영상생성부는검출부로부터출력된제1파장신호와제2파장신호를조합하여샘플에대한 3차원영상을생성한다.
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公开(公告)号：KR20180061859A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：KR20160161500
申请日：2016-11-30
Applicant: 단국대학교 산학협력단
CPC classification number: G02B21/36 , G02B21/0076 , G02B21/082 , G02B21/088
Abstract: 본발명은 3차원마이크로/나노구조를갖는샘플에패턴이다른광을조사하고, 샘플에서방출되는반사광을조합하여 3차원영상을획득하는고해상도를갖는 3차원영상획득장치에관한것으로서, 광원과, 패턴형성부와, 광학계와, 필터부와, 검출부와, 영상생성부를포함한다. 광원은복수의파장광을출력한다. 패턴형성부는복수의파장광중 제1파장광은제1패턴을갖도록하고제2파장광은제1패턴과다른제2패턴을갖도록한다. 광학계는복수의파장광을집광하여 3차원마이크로/나노구조를갖는샘플에동시에조사하는대물렌즈를구비한다. 필터부는샘플로부터방출되는복수의반사광중 상기제1파장광과대응되는제1파장반사광은제1경로로분리시키고, 제2파장광과대응되는제2파장반사광은제1경로와다른제2경로로분리시킨다. 검출부는제1경로상에배치되어제1파장반사광을검출하여제1파장신호를발생시키는제1이미지센서와, 제2경로상에배치되어제2파장반사광을검출하여제2파장신호를발생시키는제2이미지센서를구비한다. 영상생성부는검출부로부터출력된제1파장신호와제2파장신호를조합하여샘플에대한 3차원영상을생성한다.
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