公开(公告)号：KR1020160116238A

公开(公告)日：2016-10-07

申请号：KR1020150043275

申请日：2015-03-27

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 박재형 ,  김용권 ,  이승기 ,  신영민

IPC: G01N33/487 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00

Abstract: 마이크로탐침구조물및 이의제조방법이개시된다. 이는두 번의 DRIE 공정및 RIE 공정을이용하여넓은간격을갖는마이크로탐침제작이가능하기때문에마스크패턴의간격및 크기의제한을받지않으며, 마이크로탐침간의간격에상관없이탐침의높이조절이가능함으로써, 적용하고자하는어플리케이션에맞게제작이가능하다.

公开(公告)号：KR101865446B1

公开(公告)日：2018-07-16

申请号：KR1020150043275

申请日：2015-03-27

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 박재형 ,  김용권 ,  이승기 ,  신영민

IPC: G01N33/487 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00

Abstract: 마이크로탐침구조물및 이의제조방법이개시된다. 이는두 번의 DRIE 공정및 RIE 공정을이용하여넓은간격을갖는마이크로탐침제작이가능하기때문에마스크패턴의간격및 크기의제한을받지않으며, 마이크로탐침간의간격에상관없이탐침의높이조절이가능함으로써, 적용하고자하는어플리케이션에맞게제작이가능하다.