公开(公告)号：KR1020160066678A

公开(公告)日：2016-06-13

申请号：KR1020140170873

申请日：2014-12-02

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 임은주 ,  복문정 ,  조성집 ,  최원진

IPC: G01R31/28 ,  G01R1/04 ,  H05B3/20

CPC classification number: G01R31/26 ,  G01R1/04 ,  G01R31/2601

Abstract: 히팅필름및 이를구비한프로브스테이션이개시된다. 본발명의일 실시예에따른히팅필름은, 적어도하나의분석대상반도체소자가안착되는막 형상의필름바디; 상기필름바디내에배열되는적어도하나의열선; 및상기필름바디내에설치되는적어도하나의온도센서;를포함한다.

Abstract translation: 公开了一种加热膜和包括该加热膜的探针台。 根据本发明的实施例，加热膜包括：薄膜状膜体，待分析的至少一个半导体器件就座在其上; 布置在所述胶片体中的至少一个加热丝; 以及安装在胶片体中的至少一个温度传感器。 因此，加热膜不仅可以进行适应于不同半导体元件尺寸的温度控制，还可以进行微温控制。