公开(公告)号：KR1019970052562A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950052094

申请日：1995-12-19

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: H01L21/30

Abstract: 본 발명은 모듈상에 형성된 액츄에이터를 구성하는 복수개의 층들의 전기 저항을 개별적으로 측정하기 위한 테스트 패턴 구조에 관한 것으로, 사이 테스트 패턴 구조는 실리콘 기판상에 복수개이 액츄에이터가 형성된 모듈 주위의 여백 공간에 상부 전극용 제1패턴과 변형부용 제2패턴과 하부 전극용 제3패턴이 형성되어 있으며, 상기 제1패턴은 전기적으로 연결된 2개의 상부 전극 단자를 구비하고 있고 상기 2개의 상부 전극 단자사이에 테스트용 지지부가 형성되어 있으며, 상기 제2패턴은 2개의 변형부용 단자를 구비하고 상기 2개의 변형부용 단자사이에 테스트용 지지부가 형성되고 상기 2개의 변형부용 단자의 상부에 전기적으로 절연된 상부 전극용 단자가 형성되어 있으며, 상기 제3패턴은 전기적으로 연결된 2개의 하부 전극 단자를 구비하고 있 상기 2개의 하부 전극 단자사이에 테스트용 지지부가 형성되며 이에 의해서 상기 복수개의 층들이 전기 저항을 개별적으로 측정할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980023305A

公开(公告)日：1998-07-06

申请号：KR1019960042761

申请日：1996-09-25

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 투상형 화상 표시 장치로 사용되는 박막형 광로 조절 장치의 이소 컷팅부를 형성하기 위한 마스크 얼라인 키의 디자인에 관한 것으로서, 이소 컷팅부 마스크를 얼라인 시키기 위한 얼라인 키 윈도우의 투명한 부분에 의해 구동 기판에 형성된 얼라인 키 박스 부분의 하부 전극이 식각되어 질화물로 이루어진 멤브레인을 노출하며, 그 결과 질화물에 적층이 불량한 변형부의 PZT가 얼라인 키 박스에 불량하게 형성되어 이후 공정시 얼라인 공정이 어려운 문제점을 해결하기 위하여, 이소 컷팅부 마스크의 패턴 외부에 별도로 구비된 이소 컷팅부 얼라인 키를 그 외곽선에 포함하며, 웨이퍼의 얼라인 키 박스의 바깥의 외곽선에 일치되게 형성되는 얼라인 키 윈도우를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 마스크 얼라이 키 디자� �을 사용함으로써, 마스크(300)와 구동 기판(100)을 정확하고 용이하게 얼라인할 수 있어, 박막형 광로 조절 장치의 패턴을 정확하게 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020000044823A

公开(公告)日：2000-07-15

申请号：KR1019980061323

申请日：1998-12-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중 ,  고윤진

IPC: G02F1/015

CPC classification number: G02B26/0858

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method for two layered TMA device is provided to simplify the manufacturing process and to increase the absorption and the adherence of the surface by depositing the sylation agent. CONSTITUTION: A device comprises a driving substrate(210), an insulation layer(211), a metal layer(214), a MOS transistor(212), a blocking layer(216), an upper part protection layer(217), an etching preventing layer(218), an actuator(230), a membrane(231), a lower electrode(232), and an electroplasive(233). A manufacturing method comprises the steps of preparing a driving substrate in which the insulation layer, MOS transistor and the drain electrode are formed; forming the first sacrificial layer in which the supporting part is formed; forming the actuator in which the membrane, lower electrode, and the upper electrode are formed; forming the multi layered second sacrificial layer in which the sylation layer is formed in turn; forming the mirror supporting part by eliminating a part of the second sacrificial layer; forming the mirror layer; and eliminating the first and second sacrificial layer.

Abstract translation: 目的：提供两层TMA器件的制造方法，以简化制造工艺，并通过沉积硫化剂来增加表面的吸收和粘附。 构成：一种器件包括驱动衬底（210），绝缘层（211），金属层（214），MOS晶体管（212），阻挡层（216），上部保护层（217）， 防蚀层（218），致动器（230），膜（231），下电极（232）和电镀（233）。 一种制造方法包括制备其中形成绝缘层，MOS晶体管和漏电极的驱动基板的步骤; 形成其中形成有所述支撑部的所述第一牺牲层; 形成其中形成有膜，下电极和上电极的致动器; 形成依次形成硫酸化层的多层第二牺牲层; 通过消除所述第二牺牲层的一部分来形成所述镜支撑部分; 形成镜层; 并消除第一和第二牺牲层。

公开(公告)号：KR100248493B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019970016168

申请日：1997-04-29

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: G02F1/015

Abstract: 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법이 개시되어 있다. 상기 방법에 따르면, 내부에 트랜지스터가 내장되고 일측 상부에 드레인 패드가 형성된 액티브 매트릭스를 제공한다. 상기 액티브 매트릭스의 상부에 일측이 접촉되며 타측이 에어 갭을 개재하여 상기 액티브 매트릭스와 평행하게 지지층을 형성한다. 상기 지지층의 상부에 하부 전극을 형성하고, 상기 하부 전극의 상부에 변형층을 형성하며, 상기 변형층의 상부에 상부 전극을 형성한다. 상기 변형층, 하부 전극 및 지지층을 식각하여 변형층으로부터 상기 드레인 패드까지 비어 홀을 형성한다. 상기 비어 홀을 제외한 결과물 상에 제1 포토레지스트, 제1 금속층 및 제2 포토레지스트로 이루어진 돌출 구조의 패턴을 형성한다. 상기 돌출 구조의 패턴을 이용한 리프트-오프 방법에 의해 제2 금속층으로 이루어진 비어 컨택을 형성함으로써, 액츄에이터를 형성한다. 제1 포토레지스트/ 제1 금속층/ 제2 포토레지스트의 3층 적층 방법에 의하여 확실하게 돌출 구조를 갖는 패턴을 형성함으로써, 금속 펜스없이 비어 컨택을 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR100220693B1

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019960042764

申请日：1996-09-25

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 구동기판의 모듈 외곽부에 절단 기준선을 형성하여 구동기판 절단공정시 모듈 내측으로 균열이 전달되는 것을 차단하기 위한 박막형 광로조절장치의 모듈 제조방법에 관한 것으로, 구동기판상에 액츄에이터가 장방형의 어레이를 이루어 형성되는 단위 모듈을 제조하기 위한 박막형 광로조절장치의 모듈 제조방법에 있어서, 단위 모듈의 외곽부에 소정 선폭을 갖도록 에칭하여 기준선을 형성하는 기준선 형성공정과, 상기 기준선의 외측부를 따라 구동기판의 3분의 1 내지 절반 정도의 두께를 절단하는 부분 절단공정과, 상기 부분 절단된 위치를 따라 구동기판을 절단시켜 직사각형의 모듈을 형성하는 절단공정을 구비함으로써 모듈 절단공정시 정확한 위치를 편리하게 설정할 수 있는 잇점이 있으며, 모듈 내측으로 균열이 발생되는 것을 차 단할 수 있는 효과를 가져올 수 있는 유용한 것이다.

公开(公告)号：KR100209425B1

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019960049523

申请日：1996-10-29

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 투사형 화상 표시 장치에 사용되는 박막형 광로 조절 장치의 금속 배선을 형성하는 리프트 오프 공정에 관한 것으로서, 모노크로로벤젠(MCB)과 같은 별도의 솔루션(Solution)을 사용하지 않고 오버행 구조를 형성하기 위하여, 상기 박막형 광로 조절 장치의 액츄에이터를 이루는 복수개의 층중 어느 한 층인 기저층이 형성된 웨이퍼의 표면을 세척 및 건조하는 공정과, 상기 액츄에이터를 이루는 복수개의 층중 어느 한 층이 형성된 표면의 상부에 양면성 포토레지스트(PR)를 도포하여 감광층을 형성하는 공정과, 상기 감광층이 형성된 웨이퍼를 소프트 베이킹(Soft Baking) 처리하여 포토레지스트(PR)내의 용제(Solvent)를 제거하는 공정과, 상기 웨이퍼에 마스크를 정렬하여 노광하는 공정과, 상기 양면성 포토레지스트(PR)을 인버터 베이킹(Inverter Baking) 및 전면노광에 의해 그 특성을 반전시키는 단계와, 상기 포토레지스트(PR)층의 일부를 현상에 의해 제거하는 공정으로 이루어진 방법으로 오버행 구조를 형성함으로써, 제조 공정을 간소화하고, 그에 따른 비용을 절감할 수 있다.

公开(公告)号：KR100177224B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019950052094

申请日：1995-12-19

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: H01L21/30

Abstract: 본 발명은 모듈상에 형성된 액츄에이터를 구성하는 복수개의 층들의 전기 저항을 개별적으로 측정하기 위한 테스트 패턴 구조에 관한 것으로, 사이 테스트 패턴 구조는 실리콘 기판상에 복수개이 액츄에이터가 형성된 모듈 주위의 여백 공간에 상부 전극용 제1패턴과 변형부용 제2패턴과 하부 전극용 제3패턴이 형성되어 있으며, 상기 제1패턴은 전기적으로 연결된 2개의 상부 전극 단자를 구비하고 있고 상기 2개의 상부 전극 단자사이에 테스트용 지지부가 형성되어 있으며, 상기 제2패턴은 2개의 변형부용 단자를 구비하고 상기 2개의 변형부용 단자사이에 테스트용 지지부가 형성되고 상기 2개의 변형부용 단자의 상부에 전기적으로 절연된 상부 전극용 단자가 형성되어 있으며, 상기 제3패턴은 전기적으로 연결된 2개의 하부 전극 단자를 구비하고 있� � 상기 2개의 하부 전극 단자사이에 테스트용 지지부가 형성되며 이에 의해서 상기 복수개의 층들이 전기 저항을 개별적으로 측정할 수 있다.

公开(公告)号：KR100177315B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019960008473

申请日：1996-03-27

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: G03F7/00

Abstract: 본 발명은 외부로부터 인가되는 전기적 신호에 의하여 압전 재료가 압전 변형을 나타냄으로서 액츄에이터가 구동될 때 액츄에이터를 구성하고 반사면으로 작용하는 상부 전극의 반사 효율을 향상시키기 위하여 상기 상부 전극에 이소 컷팅부를 형성시킬 때 상기 이소 컷팅부의 전기적 단락 여부를 용이하게 확인하기 위한 테스트 패턴 구조에 관한 것으로 이러한 테스트 패턴 구조는 구동 기판상에 복수개의 액츄에이터가 형성된 모듈 주위의 여백 공간에 형성되어 있으며, 순차적으로 형성된 제1도전층과, 구동층과 제2도전층으로 이루어져 있고 제2도전층은 소정크기를 갖는 복수개의 갭에 의하여 분리된 복수개의 구획으로 구성되어 있으며 이에 의해서 제2도전층을 구성하는 구획들의 작동 상태에 의하여 광로 조절 장치를 구성하는 상부 전극의 이� �� 컷팅부의 전기적 단락 여부를 용이하게 확인할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980023308A

公开(公告)日：1998-07-06

申请号：KR1019960042764

申请日：1996-09-25

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 구동기판의 모듈 외곽부에 절단 기준선을 형성하여 구동기판 절단공정시 모듈 내측으로 균열이 전달되는 것을 차단하기 위한 박막형 광로조절장치의 모듈 제조방법에 관한 것으로, 구동기판상에 액츄에이터가 장방형의 어레이를 이루어 형성되는 단위 모듈을 제조하기 위한 박막형 광로조절장치의 모듈 제조방법에 있어서, 단위 모듈의 외곽부에 소정 선폭을 갖도록 에칭하여 기준선을 형성하는 기준선 형성공정과, 상기 기준선의 외측부를 따라 구동기판의 3분의 1 내지 절반 정도의 두께를 절단하는 부분 절단공정과, 상기 부분 절단된 위치를 따라 구동기판을 절단시켜 직사각형의 모듈을 형성하는 절단공정을 구비함으로써 모듈 절단공정시 정확한 위치를 편리하게 설정할 수 있는 잇점이 있으며, 모듈 내측으로 균열이 발생되는 것을 차 단할 수 있는 효과를 가져올 수 있는 유용한 것이다.

公开(公告)号：KR1019970067654A

公开(公告)日：1997-10-13

申请号：KR1019960007400

申请日：1996-03-19

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 김형중 ,  구명권

IPC: H01L21/30

Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 패드를 갖는 구동기판의 상부에 상기 패드가 노출되도록 희생막을 형성하는 공정과, 상기 노출된 구동기판과 패드의 상부에 멤브레인을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인의 소정 부분에 상기 패드가 노출시키는 개구를 형성하는 공정과, 상기 개구 내에 플러그를 상기 패드와 전기적으로 연결되도록 형성하는 공정과, 상기 멤브레인의 상부의 소정 부분에 인접하는 액츄에이터들을 전기적으로 분리하는 전극분리영역을 형성하는 공정과, 상기 하부전극의 상부와 상기 전극분리영역에 번형부와 상부전극을 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 상부전극으로부터 상기 멤브레인 까지 상기 희생막이 노출되도록 식각하여 츄에이터를 분리하는 공정과, 상기 상부전극의 표면 및 액츄에이터의 측면에 보호박을 형성하는 공정과, 상기 상부전극의 크랙이 발생된 부분에 형성된 상기 보호막을 제거하여 보강영역을 형성하는 공정과, 상기 보강영역과 보호막의 상부에 상기 상부전극과 동일한 물질을 도포하는 공정과, 상기 희생막과 상기 보호막을 제거하여 보강부를 형성하는 공정을 포함한다. 따라서, 본 발명은 인접하는 액츄에이터들 사이를 전기적으로 분리하기 위해 하부전극을 분리하는 전극분리영역을 한정할 때 상부전극에 크랙이 발생되어 단락되는 것을 방지할 수 있다.