公开(公告)号：KR102107663B1

公开(公告)日：2020-05-07

申请号：KR1020180103705

申请日：2018-08-31

Applicant: 도레이첨단소재 주식회사

Inventor： 정경철 ,  이용호 ,  정우득 ,  이병국 ,  이정덕

IPC: C23C18/16 ,  C23C18/38 ,  C23C18/20 ,  C23C14/02 ,  C23C14/34 ,  C23C14/20 ,  C23C14/16

公开(公告)号：KR1020150045026A

公开(公告)日：2015-04-28

申请号：KR1020130123914

申请日：2013-10-17

Applicant: 도레이첨단소재 주식회사

Inventor： 전은욱 ,  김영섭 ,  이성국 ,  정경철

IPC: C23F1/16

CPC classification number: C23F1/18 ,  C09K13/04 ,  C25D3/00 ,  H05K3/06

Abstract: 본발명은도금장치의전도체로사용되는도금전극에생성된구리를용이하게박리할수 있는구리박리용용액, 그제조방법및 이를사용하여박리조 내에외부공기를유입하여표면활성화를통하여전극의구리를박리하는방법에관한것으로, 상기한본 발명의도금전극의구리박리용용액은도금전극의구리박리용용액으로서, 상기용액은황산, 염산및 순수(pure water)를일정비율로혼합하여얻어진것임을특징으로한다. 상기와같이구성되는본 발명의도금전극의구리박리용용액및 이를이용한구리박리방법은황산과염산의농도를특정한조건으로구리박리용용액을제조하고, 그리고이를사용하여외부공기를유입하여도금전극의구리를박리하는방법을제공함으로써, 도금전극표면에흡착된구리를보다효과적으로용이하게박리시킬수 있게하고, 또한부가하여종래에주로해외수입에의존하여사용되었던고가의구리박리액보다우수한효과를나타내는구리박리용용액을보다저렴한비용으로그리고적기에조달할수 있게하므로, 종래의문제점을해결하였다.

Abstract translation: 本发明涉及一种铜剥离组合物，其可以容易地剥离在用作电镀装置的导体的电镀电极上产生的铜，其方法，以及通过引入外部空气来激活表面的方法来剥离电极的铜 使用上述方法进入剥离组。 本发明的电镀电极的铜剥离组合物由于硫酸，盐酸和纯水以固定比率混合而产生。 本发明的电镀用铜剥离组合物及其制造方法，提供了通过硫酸和盐酸的一定浓度条件制造铜剥离组合物的电镀铜电极的方法， 通过使用它，通过引入外部空气来剥离电镀电极的铜。 因此，本发明能够有效且容易地剥离吸附在电镀电极表面的铜。 此外，本发明通过使得具有比依赖于过去进口的昂贵的铜剥离组合物具有更好的效果的铜剥离组合物能够按时和低成本运输来解决现有问题。