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1.发明授权
公开(公告)号：KR100452649B1
公开(公告)日：2004-10-12
申请号：KR1020017016361
申请日：2000-06-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: C23C16/505
CPC classification number: H01L21/67109 , C23C16/46 , H01J2237/2002
Abstract: An electrode structure used in a plasma processing apparatus which performs a predetermined process on an object (W) to be processed by using a plasma in a process chamber (26) in which a vacuum can be formed. An electrode unit (38) has a heater unit (44) therein. A cooling block (40) having a cooling jacket (58) is joined to the electrode unit (38) so as to cool the electrode unit. A heat resistant metal seal member (66A, 66B) seals an electrode-side heat transfer space (62, 64) formed between the electrode unit and the cooling block. Electrode-side heat transfer gas supply means (94) supplies a heat transfer gas to the electrode-side heat transfer space. Accordingly, a sealing characteristic of the electrode-side heat transfer space does not deteriorate even in a high temperature range such as a temperature higher than 200 DEG C and, for example, a range from 350 DEG C to 500 DEG C, and the heat transfer gas does not leak.
Abstract translation: 一种等离子体处理装置中使用的电极结构体，该等离子体处理装置通过在能够形成真空的处理室（26）内利用等离子体对被处理体（W）进行规定的处理。 电极单元（38）中具有加热器单元（44）。 具有冷却套（58）的冷却块（40）连接到电极单元（38）以冷却电极单元。 耐热金属密封构件（66A，66B）密封形成在电极单元和冷却块之间的电极侧传热空间（62,64）。 电极侧传热用气体供给机构（94）向电极侧传热空间供给传热用气体。 因此，即使在高于200℃的温度的高温范围内，例如在350℃至500℃的范围内，电极侧传热空间的密封特性也不会劣化，并且热量 输送气体不会泄漏。 ＆lt;图像＆GT;
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2.发明公开
公开(公告)号：KR1020020022072A
公开(公告)日：2002-03-23
申请号：KR1020017016361
申请日：2000-06-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: C23C16/505
Abstract: 진공흡인 가능하게 된 처리 용기(26)내에 플라즈마를 이용하여 피처리체(W)에 대하여 소정의 처리를 실행하는 플라즈마 처리 장치에 이용되는 전극 구조체가 제공된다. 전극부(38)는 가열 히터부(44)를 내부에 갖는다. 냉각 재킷(58)을 갖는 냉각 블록(40)이 전극부(38)에 접합되어 전극부를 냉각한다. 내열성 메탈 밀봉 부재(66A, 66B)는 전극부와 냉각 블록 사이에 형성되는 전극측 전열 공간(62, 64)을 밀봉한다. 전극측 전열 가스 공급 수단(94)은 전극측 전열 공간에 전열 가스를 공급한다. 이에 의해 20℃ 이상, 예컨대 350 내지 500℃ 정도의 고온 영역에 있어서도 전극측 전열 공간의 밀봉성이 열화하지 않고 전열 가스가 누출되는 일이 없다.
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