公开(公告)号：KR20210032301A

公开(公告)日：2021-03-24

申请号：KR1020207025168A

申请日：2019-07-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다케히로 신도

IPC: F16H25/22 ,  B25J9/02 ,  F16H7/02 ,  F16H25/20 ,  F16H37/14 ,  F16H55/36

CPC classification number: F16H25/2204 ,  B25J9/02 ,  F16H25/20 ,  F16H25/2018 ,  F16H25/22 ,  F16H37/14 ,  F16H55/36 ,  F16H7/02

Abstract: 신축 장치는, 베이스 부재와, 베이스 부재에 마련되고, 구동원으로부터 공급되는 구동력에 의해 회전하는 제 1 볼 나사와, 제 1 볼 나사를 개재하여 베이스 부재에 연결되고, 제 1 볼 나사의 회전에 수반하여, 베이스 부재에 대해 상대적으로 이동하는 제 1 가동 부재와, 제 1 가동 부재에 마련되고, 제 1 가동 부재의 이동에 수반하여, 회전하는 제 2 볼 나사와, 제 1 가동 부재에 마련된 제 3 볼 나사와, 제 2 볼 나사의 회전을 제 3 볼 나사에 전달하는 전달 기구와, 제 3 볼 나사를 개재하여 제 1 가동 부재에 연결되고, 제 3 볼 나사의 회전에 수반하여, 제 1 가동 부재에 대해 상대적으로 이동하는 제 2 가동 부재를 가진다.