公开(公告)号：KR102233207B1

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020190000492A

申请日：2019-01-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마사히로 도고메 ,  게이스케 곤도

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J11/0095 ,  B25J15/0253 ,  B25J18/04 ,  B25J9/1694 ,  B65G47/905 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: [과제] 기판 파지 기구 상태로서 열림 상태, 파지 상태, 미싱 상태, 동작중 상태의 4개 상태를 적은 부품 점수로 정확하게 인식한다.
[해결 수단] 웨이퍼 파지 기구(1)는 웨이퍼의 둘레부와 계합하는 고정 클램프부(20b)와, 액츄에이터(22)에 의해 고정 클램프부(20b)에 대해서 진퇴 이동하는 가동 클램프부(21b)의 사이에서 웨이퍼를 파지하는 것이고, 가동 클램프부(21b)와 연동해 움직이는 키커(23)와, 각각 상이한 검지 영역을 가짐과 아울러, 해당 검지 영역에 키커(23)가 존재하는지 아닌지를 검지하는 제 1 센서(24a) 및 제 2 센서(24b)를 구비하고, 키커(23)는 가동 클램프부(21b)의 진퇴 방향으로 연속하는 제 1 ~ 제 4 부분을 갖고, 제 1 ~ 제 4 부분은 각각, 제 1 센서(24a) 및 제 2 센서(24b)에 의한 검지 결과가 서로 상이한 형상을 갖는다.