公开(公告)号：KR101361249B1

公开(公告)日：2014-02-11

申请号：KR1020127001744

申请日：2010-07-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔모또겐지 ,  미요시히데노리

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L21/0262 ,  C23C16/40 ,  C23C16/406 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76855

Abstract: 본 발명은 진공화 가능하게 이루어진 처리 용기 내에서, 유기 금속 원료 가스를 사용해서 피처리체의 표면에 박막을 형성하도록 한 성막 장치에 있어서, 상기 처리 용기 내의 분위기에 노출되는 부재의 표면에 소수층이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 성막 장치이다.

公开(公告)号：KR1020120034110A

公开(公告)日：2012-04-09

申请号：KR1020127001744

申请日：2010-07-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔모또겐지 ,  미요시히데노리

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L21/0262 ,  C23C16/40 ,  C23C16/406 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76855

Abstract: 본 발명은 진공화 가능하게 이루어진 처리 용기 내에서, 유기 금속 원료 가스를 사용해서 피처리체의 표면에 박막을 형성하도록 한 성막 장치에 있어서, 상기 처리 용기 내의 분위기에 노출되는 부재의 표면에 소수층이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 성막 장치이다.