公开(公告)号：KR1020160047997A

公开(公告)日：2016-05-03

申请号：KR1020150146396

申请日：2015-10-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사타카시 ,  이시마루다이스케 ,  오쿠보타카히로 ,  유모토토모유키 ,  무타토모히코

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027

Abstract: 액체의체류를억제한다. 펌프(100)는, 탄성을가지고이송대상의액체가유통하는튜브(102)와, 튜브(102)의외측을덮고, 튜브(102)의외표면과의사이의내부공간(V)에서기체를유지하는튜브용하우징(104)과, 내부공간(V)으로의기체의공급과내부공간(V)으로부터의기체의배출을행하는전공레귤레이터(RE)를구비한다.

Abstract translation: 液体停留被抑制。 泵（100）包括：传送目标液体通过弹性流动的管（102）; 管罩（104），其覆盖所述管（102）的外部，并且将气体保持在所述管（102）的外表面和所述管壳体（104）之间的内部空间（V）中; 以及将气体供应到内部空间（V）并从内部空间（V）排放气体的电动气动调节器（RE）。