公开(公告)号：KR102002215B1

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：KR1020170072858

申请日：2017-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스에키히데히토 ,  미우라도모히사

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

公开(公告)号：KR101961988B1

公开(公告)日：2019-03-25

申请号：KR1020160106752

申请日：2016-08-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스에키히데히토 ,  미우라도모히사

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR1020170142889A

公开(公告)日：2017-12-28

申请号：KR1020170072858

申请日：2017-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스에키히데히토 ,  미우라도모히사

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: (과제) 기판의탑재대에대하여돌몰이자유롭고, 기판의수수를행하기위한복수의리프트핀을구비한기판처리장치에있어서, 리프트핀의높이위치의검출을신속하게행하는것. (해결수단) 저부가기판과동일한크기로형성된용기(71) 내에점등회로가마련된지그(7)를준비한다. 용기(71)의저부는도전로플레이트(72)에의해구성되고, 한개의리프트핀(4)에대응하는영역 P1과다른영역 P2를절연하기위해영역 P1의주위에절연재(73)가마련되고, 점등회로의양단은각각영역 P1, S2에접속된다. 지그(7)를탑재대(2)에탑재하고, 영역 P1에 1개의리프트핀(4)을접촉시킨상태에서다른리프트핀(4)을영역 P2에접촉시키면, 리프트핀(4)끼리는전기적으로접속되어있기때문에, 지그(7) 내의 LED(77)가점등한다. 이때의광을광 검출부(60)에서검출하고, 조정대상의리프트핀(4)의서보모터(5)를제어한다.

Abstract translation: 本发明提供一种基板处理装置，其具有多个升降销，该升降销用于使基板的载置台上的石材脱离并进行基板的搬运，其中，能够迅速地检测升降销的高度位置。 （方案）准备在具有与基板形成为相同尺寸的底部的容器71中设置有点灯电路的夹具7。 容器71的底部由导电路径板72构成，并且绝缘材料73被放置在区域P1的周边上，以便使区域P1和与一个升降销4对应的区域P2绝缘， 电路的两端分别连接到区域P1和S2。 当夹具7安装在安装台2上并且其中一个提升销4与区域P1接触的状态下其他提升销4与区域P2接触时， 夹具7中的LED 77被指向或类似物。 此时的光由光学检测器60检测，并且要调节的升降销4的伺服电机5受到控制。

公开(公告)号：KR1020170027282A

公开(公告)日：2017-03-09

申请号：KR1020160106752

申请日：2016-08-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스에키히데히토 ,  미우라도모히사

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: (과제) 리프트핀의높이위치를단시간에정확하게위치맞춤할수 있는기판처리장치를제공한다. (해결수단) 제어부(50)의구동제어부(51)로부터, 리프트핀 장치의구동부에모터의구동지령을발한다. 이구동지령을받아, 모터가, 지령펄스에따른회전속도및 토크로회전구동하고, 리프트핀을상승구동시킨다. 맞닿음검지부(53)는, 서보앰프로부터의출력값을감시한다. 예컨대, 서보앰프내의편차카운터에있어서의지령펄스의적산값인축적펄스의절대값이임계값을넘은경우에, 리프트핀의선단이, 탑재물의하면에맞닿았다고판정한다.