公开(公告)号：KR102235382B1

公开(公告)日：2021-04-01

申请号：KR1020140155610A

申请日：2014-11-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 유지 미무라 ,  데츠야 마키 ,  시게토 츠루타 ,  다츠미 오오니시 ,  다이스케 이케모토 ,  다카히로 마스나가

IPC: B05C11/10 ,  B05C5/02 ,  H01L21/027

Abstract: 막 두께 균일성을 높인다.
실시 형태에 따른 도포 장치는, 슬릿 노즐과, 이동 기구와, 압력 조정부와, 제어부를 구비한다. 슬릿 노즐은, 도포재를 저류하는 저류실을 구비한다. 이동 기구는, 슬릿 노즐을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킨다. 압력 조정부는, 저류실 내의 압력을 조정한다. 제어부는, 이동 기구 및 압력 조정부를 제어함으로써, 저류실 내의 압력을 부압으로부터 대기압에 가까워지는 방향으로 변화시키면서, 슬릿 노즐을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킨다. 또한, 제어부는, 도포 개시 위치를 포함하는 개시 구간 및 도포 종료 위치를 포함하는 종료 구간에 있어서의 저류실 내의 압력 변화가, 개시 구간 및 종료 구간을 제외한 중앙 구간에 있어서의 저류실 내의 압력 변화보다도 완만해지도록 압력 조정부를 제어한다.