公开(公告)号：KR1019950004380A

公开(公告)日：1995-02-17

申请号：KR1019940018629

申请日：1994-07-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기타야마히로후미 ,  시바다토시미쓰 ,  미야주토시아키 ,  미야기카쓰신

IPC: H01L21/18

Abstract: 보온통상에 얹어놓인 피처리체 보우트(웨이퍼 보우트)에 피처리체를 얹어놓고, 이 피처리체 보우트를 처리용기내로 로우드하여 열처리를 행하는 열처리장치에 있어서, 처리용기의 내관과 외관의 간극부로서 그들의 아래쪽의 열용량이 비교적 큰 막형성 영역에 온도검출센서를 설치하여 그 부분에 위치하는 피처리체의 온도를 검출하고 히터부의 온도를 제어한다. 이것에 의하여 열응답성을 향상시키고, 또한, 정확한 피처리체의 온도검출을 행하는 것이 가능하게 한다.

公开(公告)号：KR100336167B1

公开(公告)日：2002-09-12

申请号：KR1019940018629

申请日：1994-07-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기타야마히로후미 ,  시바다토시미쓰 ,  미야주토시아키 ,  미야기카쓰신

IPC: H01L21/18

Abstract: 보온통상에 얹어놓인 피처리체 보우트(웨이퍼 보우트)에 피처리체를 얹어놓고, 이 피처리체 보우트를 처리용기내로 로드하여 열처리를 행하는 열처리장치에 있어서, 처리용기의 내관과 외관의 간극부로서 그들의 아래쪽의 열용량이 비교적 큰 막형성 영역에 온도검출센서를 설치하여 그 부분에 위치하는 피처리체의 온도를 검출하고 히터부의 온도를 제어한다. 이것에 의하여 열응답성을 향상시키고, 또한, 정확한 피처리체의 온도검출을 행하는 것이 가능하게 한다.