公开(公告)号：KR1019900017116A

公开(公告)日：1990-11-15

申请号：KR1019900004987

申请日：1990-04-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아오끼마코토 ,  다하라요시후미 ,  아라이이즈미

IPC: H01L21/302

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100140521B1

公开(公告)日：1998-07-15

申请号：KR1019900004987

申请日：1990-04-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아오끼마코토 ,  다하라요시후미 ,  아라이이즈미

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/68721 ,  H01L21/68728

Abstract: 내용없음.