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公开(公告)号：KR100564917B1
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：KR1019990017400
申请日：1999-05-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/139
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼나 LCD기판과 같은 기판을 반송하기 위한 기판반송장치 및 기판처리장치에 관한 것이다.
종래의 아암 홀더의 접촉지지부에 있어서는, 웨이퍼의 직경의 치수공차에 플러스하여 어느정도의 여유간격이 더 부가되어 있어, 아암 홀더가 웨이퍼(W)를 헐겁게 보지하고 있기 때문에, 반송 중에 웨이퍼가 아암 홀더 상에서 돌아 움직여, 접촉지지부의 부재와 웨이퍼 사이에서 파티클이 발생할 우려가 있다.
본 발명의 기판반송장치는 기판을 재치하여 카세트 내에 넣고 꺼내는 아암 홀더와, 이 아암 홀더를 전진 또는 후퇴시키는 진퇴구동기구와, 상기 아암 홀더 상의 기판의 하면 주변끝부에 접촉하는 상태에서 기판을 지지하는 접촉지지부재를 구비하고, 상기 접촉지지부재는 아암 홀더 상의 기판의 전단을 규정하는 제 1 규정부와, 이 제 1 규정부와 마주하며, 아암 홀더 상의 기판의 후단을 규정하는 제 2 규정부를 구비한다.
본 발명에 의하면, 기판반송 중의 파티클 발생량을 저감시키고, 다른 장치쪽에서는 기판을 위치결정할 필요가 없는 기판반송장치 및 풋프린트가 작은 기판처리장치를 제공한다.Abstract translation: 基板输送装置和基板处理装置技术领域本发明涉及用于输送半导体晶片或LCD基板等基板的基板输送装置和基板处理装置。
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公开(公告)号：KR1020050088065A
公开(公告)日：2005-09-01
申请号：KR1020050075921
申请日：2005-08-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/139
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼나 LCD기판과 같은 기판을 반송하기 위한 기판반송장치 및 기판처리장치에 관한 것이다.
종래의 아암 홀더의 접촉지지부에 있어서는, 웨이퍼의 직경의 치수공차에 플러스하여 어느정도의 여유간격이 더 부가되어 있어, 아암 홀더가 웨이퍼(W)를 헐겁게 보지하고 있기 때문에, 반송 중에 웨이퍼가 아암 홀더 상에서 돌아 움직여, 접촉지지부의 부재와 웨이퍼 사이에서 파티클이 발생할 우려가 있다.
본 발명의 기판반송장치는 기판을 재치하여 카세트 내에 넣고 꺼내는 아암 홀더와, 이 아암 홀더를 전진 또는 후퇴시키는 진퇴구동기구와, 상기 아암 홀더 상의 기판의 하면 주변끝부에 접촉하는 상태에서 기판을 지지하는 접촉지지부재를 구비하고, 상기 접촉지지부재는 아암 홀더 상의 기판의 전단을 규정하는 제 1 규정부와, 이 제 1 규정부와 마주하며, 아암 홀더 상의 기판의 후단을 규정하는 제 2 규정부를 구비한다.
본 발명에 의하면, 기판반송 중의 파티클 발생량을 저감시키고, 다른 장치쪽에서는 기판을 위치결정할 필요가 없는 기판반송장치 및 풋프린트가 작은 기판처리장치를 제공한다.-
公开(公告)号：KR100551220B1
公开(公告)日：2006-02-09
申请号：KR1020050075921
申请日：2005-08-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/139
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼나 LCD기판과 같은 기판을 반송하기 위한 기판반송장치 및 기판처리장치에 관한 것이다.
종래의 아암 홀더의 접촉지지부에 있어서는, 웨이퍼의 직경의 치수공차에 플러스하여 어느정도의 여유간격이 더 부가되어 있어, 아암 홀더가 웨이퍼(W)를 헐겁게 보지하고 있기 때문에, 반송 중에 웨이퍼가 아암 홀더 상에서 돌아 움직여, 접촉지지부의 부재와 웨이퍼 사이에서 파티클이 발생할 우려가 있다.
본 발명의 기판반송장치는 기판을 재치하여 카세트 내에 넣고 꺼내는 아암 홀더와, 이 아암 홀더를 전진 또는 후퇴시키는 진퇴구동기구와, 상기 아암 홀더 상의 기판의 하면 주변끝부에 접촉하는 상태에서 기판을 지지하는 접촉지지부재를 구비하고, 상기 접촉지지부재는 아암 홀더 상의 기판의 전단을 규정하는 제 1 규정부와, 이 제 1 규정부와 마주하며, 아암 홀더 상의 기판의 후단을 규정하는 제 2 규정부를 구비한다.
본 발명에 의하면, 기판반송 중의 파티클 발생량을 저감시키고, 다른 장치쪽에서는 기판을 위치결정할 필요가 없는 기판반송장치 및 풋프린트가 작은 기판처리장치를 제공한다.-
公开(公告)号：KR1019990088310A
公开(公告)日：1999-12-27
申请号：KR1019990017400
申请日：1999-05-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/139
Abstract: 본발명은반도체웨이퍼나 LCD기판과같은기판을반송하기위한기판반송장치및 기판처리장치에관한것이다. 종래의아암홀더의접촉지지부에있어서는, 웨이퍼의직경의치수공차에플러스하여어느정도의여유간격이더 부가되어있어, 아암홀더가웨이퍼(W)를헐겁게보지하고있기때문에, 반송중에웨이퍼가아암홀더상에서돌아움직여, 접촉지지부의부재와웨이퍼사이에서파티클이발생할우려가있다. 본발명의기판반송장치는기판을재치하여카세트내에넣고꺼내는아암홀더와, 이아암홀더를전진또는후퇴시키는진퇴구동기구와, 상기아암홀더상의기판의하면주변끝부에접촉하는상태에서기판을지지하는접촉지지부재를구비하고, 상기접촉지지부재는아암홀더상의기판의전단을규정하는제 1 규정부와, 이제 1 규정부와마주하며, 아암홀더상의기판의후단을규정하는제 2 규정부를구비한다. 본발명에의하면, 기판반송중의파티클발생량을저감시키고, 다른장치쪽에서는기판을위치결정할필요가없는기판반송장치및 풋프린트가작은기판처리장치를제공한다.
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