公开(公告)号：KR1020150146397A

公开(公告)日：2015-12-31

申请号：KR1020150081944

申请日：2015-06-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오츠다카히코 ,  가미무라후미히로

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은기판의배열피치를작게했다하더라도, 각각의기판에대한처리의면내균일성을높이는것을과제로한다. 기판액 처리장치는, 복수의기판(W)을, 이들기판이기립자세로수평방향으로간격을두고배열된상태로유지하는기판유지구(3120)와, 기판유지구에유지된기판이침지되는처리액을저류하는처리조(3110)와, 처리조내에설치되고, 기판유지구에의해유지된기판의하측으로부터기판을향해서처리액을토출하는노즐(3190)을구비한다. 기판유지구는, 복수의기판중 제1 그룹의기판을제1 높이위치로유지하는제1 유지부(3124A)와, 복수의기판중 제2 그룹의기판을제1 높이위치보다낮은제2 높이위치로유지하는제2 유지부(3124B)를갖고있다.

Abstract translation: 本发明即使基板的配置间距小，也能够提高各基板的面内均匀性。 一种用本发明的液体处理基板的设备，包括：基板保持部件，用于将多个基板（W）保持在沿水平方向间隔设置的状态，同时基板支架 ; 一个处理槽，用于储存浸在基板保持件中的基板; 以及安装在处理槽中的喷嘴（3190），并且从由基板保持部件保持的基板的下侧朝向基板排出处理液。 基板保持部件包括：第一保持单元，用于将多个基板中的第一组的基板保持为第一高度;第二保持单元，用于将第二组的基板保持在第一高度; 基板处于低于第一高度的第二高度。