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公开(公告)号：KR100274310B1
公开(公告)日：2001-01-15
申请号：KR1019950023666
申请日：1995-08-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
Abstract: 검사장치는, 피검사물을 접촉부와 대향하는 위치로 반송하는 반송부와, 이 반송부에 접촉부에 대해서 접촉 및 분리되는 방향으로 이동이 자유롭게 설치되고, 피검사물을 흡착하여 유지하는 흡착유지부와, 상기 접촉부에 피검사물을 접촉시켜서, 상기 흡착유지부를 승강시키기 위한 승강수단과, 상기 반송부와는 별개로 설치되어, 흡착유지부를 밀어눌러서 피검사물을 접촉부에 누름접합하는 누름접합기구를 구비하고 있다. 이에 따라 반송기구는 누름접합기구로 부터 분리되어 있으므로 경량화할 수 있고, 누름접합기구는 가장 바람직한 누름접합의 설정을 가능하게 하고 있다. 또 반송기구에 의해 피검사물을 접촉부에 장치한 채 누름접합하므로 시간단축을 도모할 수 있다. 또 피검사물의 파괴의 우려가 없고, 내구성이 크며 더우기 피반송물 또는 피검사물의 자세에 영향을 받지 않고 안정되게 흡착, 해제동작을 할 수 있는 반송장치를 제공하는 것이며 , 피검사물을 효율좋게 가열 또는 냉각할 수 있어, 종류가 다른 피검사물에 대해서 얹어 놓는 판부를 공통화할 수 있는 온도조절장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR100835245B1
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：KR1020067017410
申请日：2005-03-03
Applicant: 가부시끼가이샤 오크테크 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R1/06738 , G01R3/00 , Y10T29/5193
Abstract: 고속화에 따라 배선 구조의 미세화, 박막화가 급격하게 진행하고, 배선층이 매우 얇아지고 있기 때문에, 종래와 같이 프로브에 접촉 하중을 걸어 검사를 행하면 프로브가 산화막뿐만 아니라 배선층도 관통하고, 또한, 프로브로부터의 집중 응력에 의해 배선층이나 절연층을 손상시킨다. 반대로 접촉 하중을 낮추면 프로브와 전극 패드의 도통이 불안정하게 된다. 본 발명은 낮은 침압으로 산화막을 뚫으며 피검사체를 확실하고 또한 안정적으로 검사하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 피검사체의 전기적 특성 검사를 행할 때에, 상기 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브로서, 상기 피검사체와의 접촉부가 형성된 프로브 본체와, 이 프로브 본체의 접촉부로부터 돌출하는 선단부를 갖는 복수의 도전성 재료를 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020070005605A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：KR1020067017410
申请日：2005-03-03
Applicant: 가부시끼가이샤 오크테크 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R1/06738 , G01R3/00 , Y10T29/5193
Abstract: Since microminiaturization of a wiring structure and film thinning have been rapidly progressed due to speed increase, the wiring layer has become extremely thin. Therefore, when an inspection is performed by applying a contact load on a probe as in the conventional cases, the probe penetrates not only an oxide film but also the wiring layer, and the wiring layer and an insulating layer are damaged due to concentrated stress from the probe. On the contrary, when the contact load is reduced, electrical continuity between the probe and an electrode pad becomes unstable. A probe is provided to surely and stably inspect an inspecting object by penetrating an oxide film with a low needle pressure. At the time of performing electrical characteristic inspection on the inspecting object, the probe is electrically brought into contact with the inspecting object. The probe is provided with a probe main body whereupon a contact part for contacting the inspecting object is formed, and a plurality of conductive materials having leading edge parts protruding from the contact part of the probe main body. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract translation: 由于布线结构的微小化和薄膜变薄由于速度的增加而迅速进行，所以布线层变得非常薄。 因此，如以往那样通过在探头上施加接触负荷而进行检查的情况下，探针不仅穿透氧化膜，而且穿透布线层，并且由于集中的应力而导致布线层和绝缘层受损 探针。 相反，当接触负载减小时，探针和电极焊盘之间的电连续性变得不稳定。 提供探针，通过以低针压穿透氧化膜来可靠且稳定地检查检查对象。 在对检查对象进行电气特性检查时，探针与检查对象电接触。 探针设置有探针主体，由此形成用于接触检查对象的接触部分，以及具有从探针主体的接触部分突出的前缘部分的多个导电材料。 ®KIPO＆WIPO 2007
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公开(公告)号：KR1019990045000A
公开(公告)日：1999-06-25
申请号：KR1019980047147
申请日：1998-11-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명의 웨이퍼 척의 온도 측정 장치(141)는 접촉기(3)와 협동하여 이것과 일괄 접촉한 상태의 웨이퍼(W)를 유지한 웨이퍼 척(2)과 저부 자켓(9)을 접촉시키고, 저부 자켓(9)에 의해 웨이퍼(W)를 소정의 검사 온도로 제어할 때(P) 웨이퍼 척(2)의 온도를 측정하는 장치로서, 웨이퍼 척에 그 이면에서부터 표면 근방에 도달하는 오목부(2A)를 적어도 3곳에 설치함과 동시에 저부 자켓(9)에 오목부(2A)에 대응하는 관통 구멍(9B)를 설치하고, 또한 관통 구멍(9B)으로부터 오목부(2A)에 끼워맞춤 가능한 온도 센서(141A)를 저부 자켓(9)의 웨이퍼 척(2)과는 반대측에 설치함과 동시에 온도 센서(141A)를 스프링(141D)에 의해 지지하고, 검사시에 온도 센서(141A)의 선단을 오목부(2A)에 탄성적으로 접촉시키는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020040038877A
公开(公告)日：2004-05-08
申请号：KR1020030076883
申请日：2003-10-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 요네자와도시히로
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07342
Abstract: PURPOSE: A fixing device implemented on a probe apparatus is provided to improve a test reliability by rejecting a distortion force resulted from heat. CONSTITUTION: A probe card(11) includes a plurality of probes which are to be brought into an electrical and mechanical contact with a target object. The probes are configured to examine the electrical characteristics of the target object. The probe card is exposed to a high-temperature atmosphere. A support frame(12) is configured to support the probe card in its central portion. A plurality of first coupling members(16A) couple the probe card on the support frame to fix the probe card. A sustain frame is configured to hold the probe card and the support frame in its outer peripheral portions. The sustain frame is fixed to the probe. A plurality of second coupling members(16B) are provided to couple the holding frame on the support frame to fix the holding frame.
Abstract translation: 目的：提供一种在探针装置上实现的定影装置，通过抑制由热产生的变形力来提高测试的可靠性。 构成：探针卡（11）包括多个要与目标物体电接触和机械接触的探针。 探针被配置为检查目标对象的电特性。 探针卡暴露在高温环境中。 支撑框架（12）构造成将探针卡支撑在其中心部分。 多个第一联接构件（16A）将探针卡连接在支撑框架上以固定探针卡。 维持框架构造成将探针卡和支撑框架保持在其外周部分中。 维持框架固定在探头上。 提供多个第二联接构件（16B）以将支撑框架联接在支撑框架上以固定保持框架。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980032904A
公开(公告)日：1998-07-25
申请号：KR1019970053162
申请日：1997-10-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명의 정렬 장치는 검사용 접촉체의 화상을 촬상하기 위한 제 1 촬상 카메라와, X 방향, Y 방향, Z 방향 및 θ 방향으로 이동가능하도록 배치되고 그 위에 고정된 제 1 촬상 카메라를 갖는 이동체와, 이동체상에 배치되고 반도체 웨이퍼를 지지할 수 있는 웨이퍼 지지체와, 각 방향으로 이동되는 이동체의 이동을 제어하기 위한 제어 회로와, 반도체 웨이퍼의 화상을 제어 회로의 제어하에서 이동하는 지지체상에서 촬상하기 위한 제 2 촬상 카메라를 구비한다. 화상을 촬상하기 위해 제 1 촬상 카메라 및 제 2 촬상 카메라에 대한 위치가 저장되고, 제 1 촬상 카메라는 접촉자의 화상을 촬상하며, 접촉자의 위치는 저장되고, 제 2 촬상 카메라는 접촉자에 대응하는 칩의 전극의 화상을 촬상하고, 전극의 위치가 저장되고, 그 다음 접촉자 및 전극은 접촉자 및 전극의 각 위치에 따라 서로 정렬된다.
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公开(公告)号：KR1019960009099A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019950023666
申请日：1995-08-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
Abstract: 검사장치는, 피검사물을 접촉부와 대향하는 위치에 반송하는 반송부와, 이 반송부에, 접속부에 대해서 접촉 분리방향으로 이동이 자유롭게 설치되고, 피검사물을 흡착하여 유지하는 흡착유지부와, 반송부와는 별개로 설치되어, 흡착유지부를 눌러서 피검사물을 접촉부에 누름접합하는 누름접합기구를 구비하고 있다. 이에 의해, 반송기구는 누름접합기구로부터 분리되어 있으므로 경량화할 수 있고, 누름접합기구는 최적한 누름 접합의 설정을 가능하게 하고 있다. 또, 반송기구에 의해 피검사물을 접촉부에 장치한 채 누름접합하므로 시간단축을 도모할 수 있다. 또 피검사물의 파괴의 우려가 없고, 내구성이 크며 게다가 피반송물 또는 피검사물의 자세에 영향을 받지 않고 안정되게 흡착, 해방동작을 할 수 있는 반송장치를 제공하고 있음과 동시에, 피검사물을 효율좋게 가열 또는 냉각할 수가 있어, 종류가 다른 피검사물에 대해서 얹어놓는 판부를 공통화할 수 있는 온도조절장치를 제공하고 있다.
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公开(公告)号：KR100812447B1
公开(公告)日：2008-03-10
申请号：KR1020067027724
申请日：2005-06-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07357 , G01R1/07371
Abstract: 본 발명은, 프로브 카드의 콘택터와 프로브 장치 내의 피검사체 사이의 평행이 무너진 경우라도, 양자를 평행 상태로 조정하여 신뢰성이 높은 검사를 행하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 유지체를 통해 프로브 장치에 장착되는 프로브 카드로서, 콘택터와, 이 콘택터와 전기적으로 접속되는 회로 기판과, 이 회로 기판을 보강하는 보강 부재와, 상기 콘택터와 상기 프로브 장치 내에 배치된 피검사체와의 평행도를 조정하는 평행 조정 기구를 갖는다.Abstract translation: 本发明的目的是调整探针卡的接触器与探针装置中的待检查对象之间的平行度，使得探针高度平行于彼此。
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公开(公告)号：KR1020070026686A
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：KR1020067027724
申请日：2005-06-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07357 , G01R1/07371
Abstract: A probe card with which, even if parallelism between a contactor of the probe card and an object to be inspected in a probe device breaks, highly reliable inspection is carried out by adjusting them into a parallel state. A probe card fixed to a probe device through a holder, comprising a contactor, a circuit board electrically connected with the contactor, a member for reinforcing the circuit board, and a mechanism for adjusting parallelism between the contactor and an object to be inspected placed in the probe device. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract translation: 即使在探针卡的接触器与检测装置中的待检查物体之间的平行度破裂的探针卡也能够通过调整成并行状态进行高度可靠的检查。 一种通过保持器固定到探针装置的探针卡，包括接触器，与接触器电连接的电路板，用于加强电路板的构件，以及用于调节接触器和待检查物体之间的平行度的机构， 探针装置。 ®KIPO＆WIPO 2007
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公开(公告)号：KR100626199B1
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020030076883
申请日：2003-10-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 요네자와도시히로
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07342
Abstract: 프로브 카드를 고정하는 기구(10)는 프로브 카드(11) 및 지지 프레임(12)이 각각의 축심의 주위에서 복수의 제 1 체결 부재(16A)에 의해 연결되어 있다. 또한, 지지 프레임(12)의 외주연부는 프로브 장치에 고정되어 있는 카드 홀더(13)에 복수의 제 2 체결 부재(16B)에 의해 연결 고정되어 있다. 프로브 카드(11)는 그 중심 영역이 제 1 체결 부재(16A)에 의해 구속되며, 그 외주연부가 구속되지 않고 자유로워지도록 기구(10)에 의해 유지되어 있다. 따라서, 프로브 카드(11)는 고온하에서 열팽창되더라도 외주연부를 향해 팽창이 생기지만, 돔 형상으로 변형되는 것이 방지된다.
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