公开(公告)号：KR20210033426A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020200118591A

申请日：2020-09-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가즈나가 오노 ,  아츠시 고미 ,  다츠오 하타노 ,  야스히로 오타기리 ,  도모유키 후지하라 ,  유우키 모토무라

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/56 ,  H01J37/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  H01J37/3447 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/564 ,  H01J37/3426 ,  H01L21/203

Abstract: 본 발명은, 타겟에 근접한 셔터를 폐쇄한 상태에서 프리스퍼터를 행하고 개방한 상태에서 본스퍼터를 행하는 처리를 반복할 때에, 셔터의 실드 라이프를 길게 할 수 있는 스퍼터 방법 및 스퍼터 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
타겟과, 타겟에 근접하여 설치된 셔터를 갖는 스퍼터 장치에 의한 스퍼터 방법은, 셔터의 차폐부에 의해 타겟을 차폐한 상태에서, 상기 타겟으로부터 스퍼터 입자를 방출시켜 프리스퍼터를 행하는 공정과, 프리스퍼터하는 공정 후, 셔터의 개구부를 타겟에 대응시킨 상태에서, 타겟으로부터 스퍼터 입자를 방출시켜, 성막 대상에 스퍼터 입자를 퇴적시키는 본스퍼터를 행하는 공정을 가지며, 프리스퍼터를 행하는 공정과, 본스퍼터를 행하는 공정을 반복하여 행할 때에, 프리스퍼터하는 공정의 셔터의 위치를 변화시켜, 셔터의 차폐부의 타겟에 대응하는 위치를 변화시킨다.