公开(公告)号：KR1019940024919A

公开(公告)日：1994-11-19

申请号：KR1019940007724

申请日：1994-04-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이와이히로유키 ,  타니후지다모쓰 ,  아사노다카노부 ,  오쿠라료오이치

IPC: H01L21/304

公开(公告)号：KR100221983B1

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019940007724

申请日：1994-04-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이와이히로유키 ,  타니후지다모쓰 ,  아사노다카노부 ,  오쿠라료오이치

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/14

Abstract: 피처리체(w)에 처리를 행하는 처리실과, 이것에 연결되어 피처리체를 수용한 유지체를 끼우고 빼내는 로딩실과, 이 로딩실에 대하여, 카세트 내부에 수용되어 있는 피처리체를 반입 및 반출하는 반출입실을 구비하고 있다. 반출입실에 내부가 청정공기나 불활성가스에 의해 충전되어 밀폐가능하도록 되어 있는 카세트 수납용기를 설치하는 카세트 수납용기용 포트가 설치되어 있다. 그리고 이 포트의 아래쪽에, 용기 내의 카세트만을 침입시켜 도입하는 카세트 도입기구가 배치된다. 이것에 의해 외부와의 사이에서 카세트를 반입 및 반출할 때에 이것을 작업영역의 분위기에 노출되지 않도록 하여 끝내므로, 이 영역의 분위기의 청정도를 높게 유지할 필요가 없고, 클린룸의 설치비용 및 운용비를 삭감하는 것이 가능하다. 또한 포트 아래쪽에 청정기체 분출수단을 설치하여 청정기체의 횡류를 형성한다. 이것에 의해 포트 아래쪽의 청정기체가 체류되기 쉬운 부분의 분위기를 순환시키고, 또한 내부로 도입된 피처리체의 표면에 상기 횡류를 쐬여서 부착된 파티클 등을 제거하는 것이 가능하다.