公开(公告)号：KR20210035124A

公开(公告)日：2021-03-31

申请号：KR1020210035110A

申请日：2021-03-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 유키요시 사이토 ,  토모히로 카네코

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67718 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67781

Abstract: 단위 시간당 반송 매수의 증가를 도모하는 것이다. 제 1 반송 장치는 카세트로부터 기판을 취출하여 반송한다. 제 1 수용부는 제 1 반송 장치에 의해 반송되는 기판을 수용한다. 제 1 기판 처리 유닛은, 높이 방향으로 배열되는 적어도 2 개의 그룹으로 나뉘어지고, 기판에 대하여 소정의 처리를 행한다. 제 2 수용부는 상기 그룹의 각각에 대응하고, 제 1 수용부와 높이 방향으로 나란히 배치된다. 제 2 반송 장치는 상기 그룹의 각각에 대응하고, 동일 그룹에 대응하는 제 2 수용부로부터 기판을 취출하여 동일 그룹의 제 1 기판 처리 유닛으로 반송한다. 제 2 기판 처리 유닛은 상기 그룹의 각각에 대응하고, 제 1 수용부 및 제 2 수용부와 높이 방향으로 나란히 배치된다. 이전 장치는, 기판을 제 1 수용부와 제 2 수용부의 사이에서 이전하고 또한 기판을 제 1 수용부와 제 2 기판 처리 유닛의 사이에서 반송한다.

公开(公告)号：KR102233900B1

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：KR1020140158080A

申请日：2014-11-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 유키요시 사이토 ,  토모히로 카네코

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67718 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67781

Abstract: 단위 시간당 반송 매수의 증가를 도모하는 것이다. 제 1 반송 장치는 카세트로부터 기판을 취출하여 반송한다. 제 1 수용부는 제 1 반송 장치에 의해 반송되는 기판을 수용한다. 제 1 기판 처리 유닛은, 높이 방향으로 배열되는 적어도 2 개의 그룹으로 나뉘어지고, 기판에 대하여 소정의 처리를 행한다. 제 2 수용부는 상기 그룹의 각각에 대응하고, 제 1 수용부와 높이 방향으로 나란히 배치된다. 제 2 반송 장치는 상기 그룹의 각각에 대응하고, 동일 그룹에 대응하는 제 2 수용부로부터 기판을 취출하여 동일 그룹의 제 1 기판 처리 유닛으로 반송한다. 제 2 기판 처리 유닛은 상기 그룹의 각각에 대응하고, 제 1 수용부 및 제 2 수용부와 높이 방향으로 나란히 배치된다. 이전 장치는, 기판을 제 1 수용부와 제 2 수용부의 사이에서 이전하고 또한 기판을 제 1 수용부와 제 2 기판 처리 유닛의 사이에서 반송한다.