公开(公告)号：KR1020100073996A

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：KR1020090123056

申请日：2009-12-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 카네코토모히로 ,  미야타아키라 ,  하라요키타카

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: G03F7/3042 ,  G03F7/3057 ,  G03F7/3064 ,  G03F7/3071 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70716

Abstract: PURPOSE: A coating and developing apparatus, a coating and developing method, and a storage medium are provided to improve a throughput by preventing a substrate entering space to a rear module of a heating module from increasing. CONSTITUTION: A MUTC is produced from a MUT of each module(S2). An AST about a transfer arm to transfer a wafer to a heating module is produced(S4). A cycle time of the transfer arm to access PAB is determined by comparing the AST with maximum MUTC(S5). A wafer stay cycle in the PAB is produced as an integral number by rounding off a fraction if the fraction occurs(S6). A wafer stay cycle in a PEB is produced as an integral number by rounding off a fraction if the fraction occurs(S7). A transfer schedule is set based on the number of the wafer stay cycles in the PAB and the PEB, the number of cycles to change a temperature in the PAB and the PEB, and the cycle time of the transfer arm(S8).

Abstract translation: 目的：提供涂覆和显影装置，涂覆和显影方法以及存储介质，以通过防止基板进入加热模块的后部模块的空间增加而提高生产量。 构成：MUTC由每个模块的MUT产生（S2）。 产生关于将晶片转移到加热模块的转移臂的AST（S4）。 通过将AST与最大MUTC进行比较来确定传送臂进入PAB的周期时间（S5）。 如果分数发生，则通过舍入分数来产生PAB中的晶片停留周期作为积分数（S6）。 如果发生分数，则通过舍入分数来生成PEB中的晶片停留周期作为整数。 基于PAB和PEB中的晶片停留周期的数量，改变PAB和PEB中的温度的周期数以及传送臂的周期时间来设置传送调度（S8）。

公开(公告)号：KR101445352B1

公开(公告)日：2014-09-29

申请号：KR1020090123056

申请日：2009-12-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 카네코토모히로 ,  미야타아키라 ,  하라요키타카

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

Abstract: 선발 로트의 기판에 대하여 처리가 종료된 후에 후발 로트의 기판이 가열 모듈로 반송되기 전에 당해 가열 모듈에서 정정 처리가 행해지는 도포 현상 장치에서, 그 정정에 의해 그 가열 모듈의 후단 모듈로의 기판의 반입 간격이 길어지는 것을 방지하는 것이다. 도포 블록 및 현상 블록의 각각에 대하여, 해당 모듈에서 행해지는 처리에 필요한 프로세스 시간을 당해 모듈이 준비되어 있는 대수로 나눈 값과, 도포 블록 및 현상 블록의 각각의 기판 반송 수단이 반송 스케줄로 설정된 모듈군에 대하여 차례로 상류측으로부터 하류측으로 기판을 전달함으로써 일주할 때의 최단 시간으로부터 각 가열 모듈의 체재 사이클 수 혹은 그 체재 사이클 수 및 사용되는 가열 모듈의 수를 결정한다.