公开(公告)号：KR100291316B1

公开(公告)日：2001-06-01

申请号：KR1019960028180

申请日：1996-07-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다케코시기요시 ,  오노데츠지 ,  후지하라히로미치

IPC: G01R31/28 ,  G02F1/13

Abstract: 본 발명은 대형의 LCD 어셈블리를 고정밀도로 위치맞춤하여 화면표시기능을 검사할 수 있는 저비용의 LCD 검사장치에 관한 것으로서, LCD어셈블리가 재치되고, 이것에 안쪽측면으로부터 조명하는 검사용 재치대와, 검사해야 할 LCD어셈블리를 카세트내로부터 꺼내고, 이를 검사용 재치대에 수수하는 기판반송기구를 구비하고, 이 기판반송기구는 LCD어셈블리를 지지하는 아암과, 이 아암을 승강시키는 제1 승강기구와, LCD어셈블리를 아암으로부터 받고, 이를 검사용 재치대에 대하여 예비적으로 위치결정하는 프리얼라인먼트기구를 갖고, 이 프리얼라인먼트 기구는 LCD어셈블리를 실질적으로 수평으로 지지하는 복수의 지지롤러와, 서로의 축이 실질적으로 직교하도록 회전 자유롭게 설치되고, 또한 지지롤러보다도 높은 곳에 위치하여 아암으로부터 수수� � LCD어셈블리를 지지롤러쪽에 자중으로 자연 낙하시키고 지지롤러상의 LCD어셈블리의 각 모서리각부를 각각 규정하는 4쌍의 직교롤러와, 제 1 승강기구에 의한 아암의 하강동작과 동기하여 직교롤러 및 지지롤러를 일체적으로 상승시키는 제2 승강기구를 갖는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019970007388A

公开(公告)日：1997-02-21

申请号：KR1019960028180

申请日：1996-07-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다케코시기요시 ,  오노데츠지 ,  후지하라히로미치

IPC: G01R31/28 ,  G02F1/13

Abstract: 본 발명은 대형의 LCD어셈블리를 고정밀도로 위치맞춤하여 화면표시기능을 검사할 수 있는 저비용의 LCD검사장치에 관한 것으로서, LCD어셈블리가 재치되고, 이것에 안쪽면측으로부터 조명하는 검사용 재치대와, 검사해야 할 LCD어셈블리를 카세트내로부터 꺼내고, 이를 검사용 재치대에 수수하는 기판반송기구를 구비하고, 이 기판반송기구는 LCD어셈블리를 지지하는 아암과, 이 아암을 승강시키는 제1승강기구와, LCD어셈블리를 아암으로부터 받고, 이를 검사용 재치대에 대하여 예비적으로 위치결정하는 프리얼라인먼트기구를 갖고, 이 프리얼라인먼트기구는 LCD어셈블리를 실질적으로 수평으로 지지하는 복수의 지지롤러와, 서로의 축이 실질적으로 직교하도록 회전 자유롭게 설치되고, 또한 지지롤러보다도 높은 곳에 위치하여 아암으로부터 수수된 LC D어셈블리를 지지롤러쪽에 자중으로 자연낙하시키고 지지롤러상의 LCD어셈블리의 각 모서리각부를 각각 규정하는 4쌍의 직교롤러와, 제1승강기구에 의한 아암의 하강동작과 동기하여 직교롤러 및 지지롤러를 일체적으로 상승시키는 제2승강기구를 갖는 것을 특징으로 한다.