公开(公告)号：KR102229995B1

公开(公告)日：2021-03-18

申请号：KR1020190002736A

申请日：2019-01-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다케시 이타타니 ,  히데아키 야마사키

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56 ,  H01L21/67

CPC classification number: C23C16/4404 ,  C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/4581 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32559 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/56 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67248

Abstract: 본 발명은, 성막 처리 후의 기판 상의 파티클의 개수를 저감시키는 것이 가능한 프리코팅 방법을 제공한다. 일 실시 형태의 프리코팅 방법에서는, (i) 챔버 내의 내부 공간에 제1 가스가 공급된다. 이어서, 내부 공간에 제2 가스가 공급된다. 이어서, 내부 공간에 제3 가스가 공급된다. 제1 가스 중의 금속 원료 가스의 유량에 대한 수소 함유 가스의 유량의 비율은, 제2 가스 중의 금속 원료 가스의 유량에 대한 수소 함유 가스의 유량의 비율 및 제3 가스 중의 금속 원료 가스의 유량에 대한 수소 함유 가스의 유량의 비율보다도 높고, 제1 가스 중의 금속 원료 가스의 유량은, 제2 가스 중의 금속 원료 가스의 유량 및 제3 가스 중의 금속 원료 가스의 유량보다도 적다.

公开(公告)号：KR102227870B1

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：KR1020190037702A

申请日：2019-04-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히데아키 야마사키 ,  다카시 모치즈키 ,  다케시 이타타니

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L35/34

CPC classification number: G01K7/02 ,  H01L21/67248 ,  G01K1/14 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/68728

Abstract: 본 발명은, 선형 히터의 온도를 열전쌍에 의해 측정할 때, 선형 히터의 출력의 변동을 억제할 수 있는 열전쌍 고정 지그를 제공한다. 선형 히터에 열전쌍을 고정하는 열전쌍 고정 지그는, 선형 히터를 사이에 두도록 마련되는 제1 부재 및 제2 부재를 갖고, 제2 부재는, 열전쌍의 온도 검지부를 끼움 지지하는 제1 끼움 지지부 및 제2 끼움 지지부를 갖는다.