公开(公告)号：KR102236048B1

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：KR1020190074847A

申请日：2019-06-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 준이치 다케이 ,  히로시 소네 ,  나오유키 스즈키 ,  신지 오리모토

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/22 ,  C23C14/56 ,  H01J37/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  C23C14/228 ,  C23C14/564 ,  H01J37/3447

Abstract: 개구부의 형상을 용이하게 변경할 수 있는 기술을 제공한다. 본 개시의 일 태양에 의한 스퍼터링 장치는, 기판을 수용하는 처리 용기와, 상기 처리 용기 내를 타겟재가 설치되는 제 1 공간과 상기 기판이 설치되는 제 2 공간으로 구획하는 슬릿판을 포함하며, 상기 슬릿판은, 판두께 방향으로 관통하는 개구부를 갖는 내측 부재와, 상기 내측 부재의 주위에 설치되는 외측 부재를 구비하며, 상기 내측 부재는 상기 외측 부재에 대해서 착탈 가능하다.