公开(公告)号：KR1020060028820A

公开(公告)日：2006-04-03

申请号：KR1020067003232

申请日：2004-08-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  스미토모덴키고교가부시키가이샤

Inventor： 다나카스미 ,  사이토데쓰야 ,  나쓰하라마스히로 ,  나카타히로히코

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/68792 ,  H01L21/67103

Abstract: An object of the invention is to suppress thermal stress breakage of a substrate holding platform in a substrate holding structure for holding a processing subject substrate. In a board holding structure provided with a board holding platform at the front end of a pillar, a joining section between the pillar and the substrate holding platform is formed with a flange defined by the inner and outer peripheral surfaces, in which case the inner peripheral surface is formed of an inclined surface in which the inner diameter of the flange continuously increases toward the lower surface of the substrate holding platform. Further, the lower surface of the substrate holding platform to which the flange is joined is formed with a U-shaped groove corresponding to the outer peripheral surface of the flange.

Abstract translation: 本发明的目的是抑制用于保持处理对象衬底的衬底保持结构中的衬底保持平台的热应力断裂。 在支柱前端设置有板保持平台的板保持结构中，柱与基板保持平台之间的接合部形成有由内周面和外周面限定的凸缘，在这种情况下，内周 表面由倾斜表面形成，其中凸缘的内径朝向基板保持平台的下表面连续增大。 此外，与凸缘接合的基板保持平台的下表面形成有与凸缘的外周面相对应的U形槽。

公开(公告)号：KR100796051B1

公开(公告)日：2008-01-21

申请号：KR1020067003232

申请日：2004-08-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  스미토모덴키고교가부시키가이샤

Inventor： 다나카스미 ,  사이토데쓰야 ,  나쓰하라마스히로 ,  나카타히로히코

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/68792 ,  H01L21/67103

Abstract: 본 발명은, 피처리 기판을 유지하는 기판 유지구조물에 있어서, 기판 유지대의 열응력에 의한 파손을 억제하는 것을 목적으로 하고 있다. 지주 선단부에 기판 유지대를 설치한 기판 유지구조물에 있어서, 상기 지주와 상기 기판 유지대와의 접합부에, 안둘레면과 바깥둘레면으로 구획형성된 플랜지부를 형성하고, 그 때, 상기 안둘레면을, 상기 기판 유지대의 아랫면을 향하여 상기 플랜지부의 안지름이 연속적으로 증대하는 경사면에 의해 형성하고, 계속해서 상기 플랜지부가 결합하는 상기 기판 유지대의 아랫면에, 상기 플랜지부의 바깥둘레면에 대응하여 U자형 홈을 형성한다.