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公开(公告)号：KR1020160082470A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020150187001
申请日：2015-12-26
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/325 , G03F7/38 , G03F7/0042 , G03F7/0048 , G03F7/075 , G03F7/322 , G03F7/42
Abstract: 하기화학식 (I)의표면제제를포함하는오버코팅된포토레지스트와함께이용하기위한유기코팅조성물, 특히반사방지코팅조성물이제공된다.상기식 중에서, A 및 B는독립적으로수소, 임의로치환된알킬또는임의로치환된아릴이고; X 및 Y는각각독립적으로수소, 임의로치환된알킬또는임의로치환된카보사이클릭아릴이고; 그리고 n은양의정수이다. 바람직한코팅조성물은오버코팅된포토레지스트층의개선된패턴콜랩스마진을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供了一种与包覆光致抗蚀剂一起使用的有机涂料组合物，包括式（I）的表面处理剂，特别是涉及一种抗反射涂料组合物。 在该式中，A和B独立地为氢，任选取代的烷基或任选取代的芳基; X和Y分别是独立的氢和任选取代的烷基或任选取代的碳环芳基; n为正整数。 所需的涂料组合物能够提供过涂覆的光致抗蚀剂层的改进的图案塌陷边缘。
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公开(公告)号：KR1020180006474A
公开(公告)日：2018-01-17
申请号：KR1020180002165
申请日：2018-01-08
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/325 , G03F7/004 , G03F7/0042 , G03F7/0048 , G03F7/075 , G03F7/322 , G03F7/38 , G03F7/42
Abstract: 하기화학식 (I)의표면제제를포함하는오버코팅된포토레지스트와함께이용하기위한유기코팅조성물, 특히반사방지코팅조성물이제공된다.상기식 중에서, A 및 B는독립적으로수소, 임의로치환된알킬또는임의로치환된아릴이고; X 및 Y는각각독립적으로수소, 임의로치환된알킬또는임의로치환된카보사이클릭아릴이고; 그리고 n은양의정수이다. 바람직한코팅조성물은오버코팅된포토레지스트층의개선된패턴콜랩스마진을제공할수 있다.
Abstract translation: 提供了一种与包含式（I）表面活性剂的外涂光刻胶一起使用的有机涂料组合物，特别是抗反射涂料组合物：其中A和B独立地为氢，任选取代的烷基或 任选取代的芳基; X和Y各自独立地为氢，任选取代的烷基或任选取代的碳环芳基; 而n是负数意义上的整数。 优选的涂料组合物可以提供改进的外涂光刻胶层的图案坍塌边缘。
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