公开(公告)号：KR101504582B1

公开(公告)日：2015-03-20

申请号：KR1020127016281

申请日：2010-10-12

Applicant: 마이크로-엡실론 옵트로닉 게엠바하

Inventor： 데그너마틴 ,  다마슈케,닐스 ,  쇠퍼마틴 ,  멘인골프

IPC: G01P3/36

CPC classification number: G01P3/36 ,  G01P5/26

Abstract: 본 발명은 적어도 하나의 센서(4, 5; 41
Ⅰ 내지 41
Ⅳ ; 51)와 공간 필터를 구비하며, 전자기 복사선, 특히 측정 대상(13)으로부터 방출되거나 반사되는 광이 공간 필터에 의하여 상기 센서(4, 5; 41
Ⅰ 내지 41
Ⅳ ; 51, 52) 상으로 이미징되는 공간 필터 측정 장치(1) 및 공간 필터 측정 디바이스(2)에 관한 것이다. 본 발명은 공간 필터 측정을 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 공간 필터 측정 디바이스는 공간 필터가 각 각도 위치에 대하여 이동할 수 있는 미러 요소(21-21"')를 구비하는 마이크로 미러 어레이로 설계되게 구성된다.

公开(公告)号：KR1020120120174A

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：KR1020127016281

申请日：2010-10-12

Applicant: 마이크로-엡실론 옵트로닉 게엠바하

Inventor： 데그너마틴 ,  다마슈케,닐스 ,  쇠퍼마틴 ,  멘인골프

IPC: G01P3/36

CPC classification number: G01P3/36 ,  G01P5/26

Abstract: 본 발명은 적어도 하나의 센서(4, 5; 41
Ⅰ 내지 41
Ⅳ ; 51)와 공간 필터를 구비하며, 전자기 복사선, 특히 측정 대상(13)으로부터 방출되거나 반사되는 광이 공간 필터에 의하여 상기 센서(4, 5; 41
Ⅰ 내지 41
Ⅳ ; 51, 52) 상으로 이미징되는 공간 필터 측정 장치(1) 및 공간 필터 측정 디바이스(2)에 관한 것이다. 본 발명은 공간 필터 측정을 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 공간 필터 측정 디바이스는 공간 필터가 각 각도 위치에 대하여 이동할 수 있는 미러 요소(21-21"')를 구비하는 마이크로 미러 어레이로 설계되게 구성된다.