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公开(公告)号：KR1020080110863A
公开(公告)日：2008-12-19
申请号：KR1020087026061
申请日：2007-03-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
CPC classification number: H01S3/0057 , G03F7/7055 , H01S3/225
Abstract: A gas discharge laser system producing a laser output pulse and a method of operating such a system is disclosed which may comprise a pulse stretcher which may comprise a laser output pulse optical delay initiating optic directing a portion of the laser output pulse along a laser system output pulse optical axis and diverting a portion of the output pulse into an optical delay having an optical delay path and which may comprise a plurality of confocal resonators in series aligned to deliver an output of the optical delay to the laser output pulse optical delay initiating optic; an optical axis alignment mechanism comprising an radial mirror positioning mechanism operable to position the output of the optical delay to the align with the portion of the laser output pulse transmitted along the optical axis of the portion of the laser system output pulse transmitted by the laser output pulse optical delay initiating optic. ® KIPO & WIPO 2009
Abstract translation: 公开了一种产生激光输出脉冲的气体放电激光器系统和这种系统的操作方法，其可以包括脉冲展宽器，其可以包括激光输出脉冲光学延迟启动光学器件，以将激光输出脉冲的一部分沿激光系统输出 脉冲光轴并将输出脉冲的一部分转换成具有光学延迟路径的光学延迟，并且可以包括串联对准的多个共焦谐振器，以将光学延迟的输出传递到激光输出脉冲光学延迟启动光学元件; 光轴对准机构，其包括径向镜定位机构，其可操作以将光学延迟的输出定位成与激光输出脉冲的沿激光输出脉冲发射的激光系统输出脉冲部分的光轴传输的部分对准 脉冲光学延迟启动光学器件。 ®KIPO＆WIPO 2009
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公开(公告)号：KR101357012B1
公开(公告)日：2014-02-03
申请号：KR1020087026061
申请日：2007-03-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
CPC classification number: H01S3/0057 , G03F7/7055 , H01S3/225
Abstract: 레이저 출력 펄스를 산출하는 가스 방전 레이저 시스템 및 상기 시스템을 운용하는 방법으로서, 레이저 출력 펄스의 일부를 레이저 시스템 출력 펄스 광축을 따라 지향시키고 상기 출력 펄스의 일부를 광학 지연경로를 가지는 광학 딜레이로 전환시키는 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기를 구비하는 펄스 스트레저를 포함하고, 상기 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기는, 상기 광학적 딜레이의 출력을 상기 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기로 전달하도록 직렬로 정렬된 복수의 공초점 공진기; 상기 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기에 의해 전송된 레이저 시스템 출력 펄스의 일부의 광축을 따라 전송된 레이저 출력 펄스의 일부와의 정렬에 대해 광학 딜레이의 출력을 배치하도록 동작가능한 방사방향 거울 포지셔닝 메커니즘을 구비하는 광축 정렬 메커니즘을 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 방전 레이저 시스템 및 상기 시스템을 운용하는 방법이 개시된다.
레이저 출력 펄스, 가스 방전 레이저 시스템, 광축, 광학 지연 경로, 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기, 펄스 스트레처, 공초점 공진기, 포지셔닝 메커니즘
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