公开(公告)号：KR1020080106215A

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：KR1020087021234

申请日：2007-01-22

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 던스탄웨인제이. ,  자크로버트엔. ,  라오라자세크하르엠. ,  트린초우크표도르비.

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01S3/13 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/134 ,  H01S3/136 ,  G03F7/70491 ,  G03F7/70516

Abstract: According to aspects of an embodiment of the disclosed subject matter, a line narrowed high average power high pulse repetition laser micro-photolithography light source bandwidth control method and apparatus are disclosed which may comprise a bandwidth metrology module measuring the bandwidth of a laser output light pulse beam pulse produced by the light source and providing a bandwidth measurement; a bandwidth error signal generator receiving the bandwidth measurement and a bandwidth setpoint and providing a bandwidth error signal; an active bandwidth controller providing a fine bandwidth correction actuator signal and a coarse bandwidth correction actuator signal responsive to the bandwidth error. The fine bandwidth correction actuator and the coarse bandwidth correction actuator each may induce a respective modification of the light source behavior that reduces bandwidth error. The coarse and fine bandwidth correction actuators each may comprise a plurality of bandwidth correction actuators. ® KIPO & WIPO 2009

Abstract translation: 根据所公开主题的实施例的方面，公开了一种窄的高平均功率高脉冲重复激光微光刻光源带宽控制方法和装置，其可以包括测量激光输出光脉冲的带宽的带宽测量模块 由光源产生的光束脉冲并提供带宽测量; 接收带宽测量和带宽设定点并提供带宽误差信号的带宽误差信号发生器; 有源带宽控制器提供精细的带宽校正致动器信号和响应于带宽误差的粗略带宽校正致动器信号。 精细带宽校正致动器和粗带宽校正致动器各自可以引起减少带宽误差的光源特性的相应修改。 粗略和精细带宽校正致动器各自可以包括多个带宽校正致动器。 ®KIPO＆WIPO 2009

公开(公告)号：KR101390217B1

公开(公告)日：2014-05-27

申请号：KR1020087021234

申请日：2007-01-22

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 던스탄웨인제이. ,  자크로버트엔. ,  라오라자세크하르엠. ,  트린초우크표도르비.

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01S3/13 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/134 ,  H01S3/136

Abstract: 개시된 본 발명의 한 실시예의 형태에 따라, 라인 내로우드, 높은 평균 파워, 높은 펄스 반복률의 레이저 마이크로-포토리소그래피 광원의 대역폭 컨트롤 시스템이 개시되고, 본 시스템은 광원에 의해 산출된 레이저 출력 광 펄스 빔의 대역폭을 측정하고, 대역폭 측정치를 제공하는 대역폭 측정 모듈; 대역폭 측정치, 및 대역폭 세트포인트를 수신하고, 대역폭 에러 신호를 제공하는 대역폭 에러 신호 제너레이터; 및 대역폭 에러에 응답하여 미세 대역폭 보정 액츄에이터 신호, 및 거친 대역폭 보정 액츄에이터 신호를 제공하는 액티브 대역폭 컨트롤러를 포함한다. 미세 대역폭 보정 액츄에이터, 및 상기 거친 대역폭 보정 액츄에이터는 각각 대역폭 에러를 감소하는 상기 광원 행동의 개별적인 조절을 유도할 수 있다. 거친 대역폭 보정 액츄에이터, 및 상기 미세 대역폭 보정 액츄에이터는 각각 복수의 대역폭 보정 액츄에이터를 포함할 수 있다.
대역폭 컨트롤 시스템, 대역폭 측정 모듈, 대역폭 에러 신호 제너레이터, 액티브 대역폭 컨트롤러, 미세 대역폭 보정 액츄에이터 신호, 거친 대역폭 보정 액츄에이터 신호.