公开(公告)号：KR102071965B1

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：KR1020147032898

申请日：2013-04-04

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 로키츠키로스티슬라프 ,  성낙건 ,  오브라이언케빈엠

IPC: G01J3/28

公开(公告)号：KR1020150004398A

公开(公告)日：2015-01-12

申请号：KR1020147032898

申请日：2013-04-04

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 로키츠키로스티슬라프 ,  성낙건 ,  오브라이언케빈엠

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/027 ,  G01J3/1809 ,  G01J11/00 ,  G01J2001/4238 ,  G01J2009/006 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/7085

Abstract: 광원에 의해 산출된 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특성은 복수의 스텝을 포함하는 패턴 주기를 가지는 사전 결정된 반복 패턴을 기초로 펄스형 광 빔의 파장을 변경하는 단계로서, 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 기준선 파장으로부터의 파장 오프셋 만큼 펄스형 광 빔의 파장을 시프트하는 것을 포함하는 상기 변경하는 단계; 패턴에 걸쳐 파장이 변경될 때 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 광 빔의 파장을 측정하는 단계; 및 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 광 빔의 측정된 파장을 적어도 일부 기초로 하여 패턴 주기 내의 모든 스텝을 포함하는 평가 윈도우에 걸쳐 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특성을 추정하는 단계에 의해 추정된다.