公开(公告)号：KR100634114B1

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：KR1020027002685

申请日：2000-08-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 사이벌스키레이몬드에프. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  온켈스엑케하르트디. ,  다스팔라쉬피. ,  리차드슨다닐로디. ,  벅제시디.

IPC: H01S3/22

Abstract: 고에너지 빔을 산출하는 선협대역화 레이저용 격자에 기초한 선협대역화 디바이스가 개시된다. 격자의 면상에 존재하는 핫가스층의 역효과를 최소화하는 기술이 제공된다. 바람직한 실시예에서 핫가스층의 효과는 퍼지 가스로서 헬륨을 사용하여 감소된다. 바람직한 실시예 중 하나는 격자의 면을 가로질러 퍼지 가스를 강제로 흐르게 하기 위해 배리어 플레이트(60) 및 배리어 커버(62)를 포함한다. 다른 실시예에서 퍼지 가스 압력은 핫가스층의 광학 효과를 감소시키기 위해 감소된다.
격자, 배리어 플레이트, 핫가스층, 퍼지 가스, 퍼지 가스 압력, 광학 효과, 선협대역화 유닛, 가스 방전 레이저

公开(公告)号：KR1020020026607A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：KR1020027002685

申请日：2000-08-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 사이벌스키레이몬드에프. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  온켈스엑케하르트디. ,  다스팔라쉬피. ,  리차드슨다닐로디. ,  벅제시디.

IPC: H01S3/22

Abstract: 고에너지 빔을 생성하는 선협대역화 레이저용 격자에 기초한 선협대역화 디바이스가 개시된다. 격자의 면상에 존재하는 핫가스층의 역효과를 최소화하는 기술이 제공된다. 바람직한 실시예에서 핫가스층의 효과는 퍼지 가스로서 헬륨을 사용하여 감소된다. 바람직한 실시예 중 하나는 격자의 면을 가로질러 퍼지 가스를 강제로 흐르게 하기 위해 배리어 플레이트(60) 및 배리어 커버(62)를 포함한다. 다른 실시예에서 퍼지 가스 압력은 핫가스층의 광학 효과를 감소시키기 위해 감소된다.