公开(公告)号：KR1020010112484A

公开(公告)日：2001-12-20

申请号：KR1020017014296

申请日：2000-04-25

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 호프만토마스 ,  호웨이제임즈케이. ,  섀넌로버트에이. ,  우자츠도프스키리차드씨. ,  왓슨톰에이. ,  웹카일알.

IPC: H01S3/03

Abstract: 레이징 가스 혼합물를 재순환시키기 위한 탄젠샬 팬(200)-컷오프 어셈블리는 단부에서 단부로 단계식으로 원주상 위치에 있어 변동하는 블레이드 부재(264)및/또는 테이퍼진 양극 어셈블리(120)를 가지고 있다. 블레이드 부재들(264)의 수는 양 단부 사이에서 일정하거나 또는 변동될 수 있다. 블레이드 부재들(264)의 원주상 위치는 양 단부 사이에서 단조적으로 또는 가역적으로 변화될 수 있다. 블레이드 부재(264)는 허브 부재(262)의 수 및 배치를 최적으로 선택함으로써 강화되어 팬의 고유 진동수를 제어한다. 탄젠샬 팬을 형성하는 방법은 주조 및 고형 블록으로부터의 기계가공을 포함한다. 모놀리식 구조부가 전형적으로 전자빔 용접에 의해 결합될 수 있다. 주조, 용접 및 기계가공 공정은 어떠한 부가적인 오염물도 도입시키지 않고 진행된다. 생산된 탄젠샬 팬은 기계적 강성, 정밀한 공차 및 낮은 오염물 농도를 가진다. 블레이드 부재(264)는 에어포일 형상으로 형성될 수 있다.

公开(公告)号：KR100681817B1

公开(公告)日：2007-02-12

申请号：KR1020017014296

申请日：2000-04-25

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 호프만토마스 ,  호웨이제임즈케이. ,  섀넌로버트에이. ,  우자츠도프스키리차드씨. ,  왓슨톰에이. ,  웹카일알.

IPC: H01S3/03

Abstract: 레이징 가스 혼합물를 재순환시키기 위한 접선 팬(200)-컷오프 어셈블리는 단부에서 단부로 단계식으로 원주상 위치에 있어 변동하는 블레이드 부재(264)및/또는 테이퍼진 양극 어셈블리(120)를 가지고 있다. 블레이드 부재들(264)의 수는 양 단부 사이에서 일정하거나 또는 변동될 수 있다. 블레이드 부재들(264)의 원주상 위치는 양 단부 사이에서 단조적으로 또는 가역적으로 변화될 수 있다. 블레이드 부재(264)는 허브 부재(262)의 수 및 배치를 최적으로 선택함으로써 강화되어 팬의 고유 진동수를 제어한다. 접선 팬을 형성하는 방법은 주조 및 고형 블록으로부터의 기계가공을 포함한다. 모놀리식 구조부가 전형적으로 전자빔 용접에 의해 결합될 수 있다. 주조, 용접 및 기계가공 공정은 어떠한 부가적인 오염물도 도입시키지 않고 진행된다. 생산된 접선 팬은 기계적 강성, 정밀한 공차 및 낮은 오염물 농도를 가진다. 블레이드 부재(264)는 날개형 형상으로 형성될 수 있다.
방전 레이저 장치, 접선 팬-컷오프 어셈블리, 접선 팬, 블레이드 부재, 허브 부재, 컷오프 부재